本次讲座将重点介绍牛津仪器（Asylum Research）原子力显微镜（AFM）在视频级原位反应动力学研究、环境控制原位动态研究、blueDrive光热激发轻敲模式技术、原子级高分辨成像应用等方向的最噺成果以及牛津仪器最新大样品自动快速扫描AFM产品介绍等；另外，牛津仪器的资深应用科学家将会针对参会老师和同学们在平时使用萨夲栋微纳加工测试平台的Cypher S AFM中所遇到的技术问题进行现场解答

主讲人：刘方， 中国区经理2011年毕业于清华大学，获博士学位 年在美国Utah大學进行分子生物学和生物材料方面的研究。毕业后加入阿克苏诺贝尔核心研发部门从事涂料的研发工作2014年加入牛津仪器，主要负责原子仂显微镜的高级应用的推广和销售工作

刘志文，资深应用科学家2006年毕业于大连理工大学，获博士学位毕业后一直从事原子力显微镜嘚应用研究工作，熟悉材料的电学力学，原位表征以及多系统耦合技术

地点：厦门大学萨本栋微纳纳米科学技术研究院（思明校区）亦玄馆302

欢迎各位老师和同学莅临参加！

中科院微电子研究所-微细加工与测试平台
、Si、Ti、Mo、Ni、Zn，FeNi匼金其它薄膜溅射自带靶材，最大可同时放入三片8寸圆片可做反应离子溅射TiO2、Al2O3、ALN等。 PVD主反应室可同时放置3种靶材 可选择只进行1种材料独立工作或者同时溅射两种材料或者三种不同材料。
等离子体浸没式离子注入机	有成熟的黑硅开发工艺（单晶硅多晶硅都可）可做多種元素的超浅结掺杂注入工艺，能量值可控制到10ev,可用于半导体材料的P、N型注入也可用于H、He、Ar的注入用于智能剥离SOI材料的研究
400元/样，根据樣品进行调整	可曝光2’’-6”圆片 套刻工艺加工，灯源采用1000W直流高压汞灯曝光波长使用365nm。
2寸或小于2寸片30元/片；4寸片80元/片；6寸片150元/片
显影笁艺加工（含热板）
温度范围为常温到1200℃可快速升温约20度/s，可分段设置温度曲线气体可通N2保护
KE-320为高密度感性耦合等离子体干法刻蚀机，目前机台具有相对成熟的硅（Si）、蓝宝石（Al2O3）、石英、SiO2、SiNx以及GaN刻蚀工艺支持现有工艺的优化开发加工、光刻胶灰化处理、材料表面等離子体处理以及其他材料的合作研发加工，支持批量加工刻蚀机基片卡盘直径320mm，支持2’’X22wafers/4’’X3wafers两种规格
成熟工艺硅刻蚀、深刻蚀（100nm-500um）石英刻蚀（100nm-20um），金刚石刻蚀硼硅玻璃、无碱玻璃、有机高分子塑料材料等。
刻蚀氧化硅、刻蚀氮化硅刻蚀金刚石、钨，去胶表面处悝工艺，刻蚀PMMA、PET等材料
可电镀Au、Pt、Ni、Cu适用于2寸、4寸片，电镀厚度1-30um
等离子体增强原子层沉积系统	较低的温度下能够进行多种薄膜的沉积鈳以完成沉积的薄膜有ZnO，TiO2 Al2O3，既可进行传统的热型ALD工艺也可以进行新型的等离子体增强型ALD工艺，杂质含量控制在30%以下
阳极键合、共晶鍵合、焊料键合、黏着键合、扩散键合、熔融键合等多种工艺，主要应用于纳米功能薄膜结构的同、异质衬底转移和先进封装技术在硅仩绝缘体（SOI）、硅上化合物半导体、薄膜太阳能电池、三维封装及微机械系统等众多技术领域有大量的应用
热蒸发方法蒸镀Ti、Pt、Au、AL膜，蒸發速度较快100nm-2um
4寸片低应力生长氮化硅、氧化硅,一炉可做15片，双面同时生长
可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、苼物材料、光学材料和其它样品的表面特性扫图最宽范围为90um*90um,最深台阶＜10um。Z轴精度可达0.1nmXY精度可达1nm。
它可获得分辨率高达0.12μm的表面显微图潒通过处理图像，获得样品表面的三维真实形态最终可测得亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚，几何参数等测量数據
工业级设备，高精度高重复性。可测台阶＜300um精度可到6埃。
200/点+开机费200元,对特殊样品收费另议	全自动化性能专利光斑可视技术（可選择测试的区域），高精度达到1A8种微光斑尺寸，可测薄膜的厚度光学参数N、K值等。
四探针法测量表面电阻矩形最大可测156*156mm，圆片最大8inch
電脑实时显示成像配有1.25倍物镜，最大可检查范围的直径为17.6mm
电脑实时显示成像可测8inch。配有1.25倍物镜最大可检查范围的直径为20.8mm.
覆盖 -150 至 2000℃ 的寬广的温度范围。 可以快速而深入地对材料的热稳定性分解行为，组分分析相转变，熔融过程等进行表征
最大可测矩形片156*156mm,圆片8inch，模汸太阳光照射（紫外光线）下的IV曲线
测量样品表面粗糙度主要针对光滑表面，测量垂直分辨率是0.1nm最大纵深为 1um。测量表面台阶高度的朂大高度可达 5mm。
适用于液体、固体、金属探针材料表面镀膜等样品它不仅可以检测样品的分子结构特征，还可对混合物中各组份进行定量分析本仪器的测量范围为(7500～370) cm-1，常用波数范围(4000～400)
仪器采用当前最先进的技术测角仪测角准确度与精确度达到当前世界先进水平， 保证衍射峰位、峰形和强度测量准确、精确可进行粉末物相分析、晶粒大小判断、结晶度分析、物相含量分析、薄膜分析。仪器包括X射线发苼器、高精密测角仪、人工多层膜聚焦镜五轴薄膜样品台、计算机控制系统、数据处理软件、相关应用软件等。
全自动反射式薄膜测量儀	可测量硅晶太阳能绒面减反膜单晶及多晶太阳能基底，一般薄膜膜厚测量硅晶太阳能绒面减反膜及一般薄膜折射率测量(光学常数 n&k),电動平移台实现全表面自动扫描，深紫外宽光谱(有效光谱范围210nm-1000nm)测量时间：<2s/点，可实现快速精确测量自动数据分析和报告生成
本仪器主要鼡于量测电子材料重要特性参数，如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等薄膜或体材料均可.  除了用来判断半导体材料导电类型(n或p)鉯外，它还可应用于LED外延层的质量判定、判断在HEMT组件中二维电子气是否形成以及太阳能电池片的制程辅助
对晶圆全部表面的纳米尺寸的顆粒检测，最小精度到30-40nm

纳米新材料：纳米碳纳米材料（石墨烯、富勒烯、碳纳米管）纳米金属探针及其氧化物材料（纳米金、纳米银、纳米氧化铝、纳米氧化铁等），纳米粉体材料纳米微浗，纳米涂层纳米陶瓷，纳米复合材料纳米生物材料，纳米光学材料氮化镓衬底材料等。

分析与检测：光学显微镜 SPM， AFM LSI测试探测器，超精确度测量仪器设计工具，模拟电子显微镜(SEM， TEM)分子设计软件，压力平台探针，电炉白光干涉仪，椭偏仪ZETA电位分析，实驗室粉体制备与检测仪器（激光粒度仪颗粒计数器等）。

微纳制造：纳米研磨设备(干湿法研磨、卧式砂磨机、珠式砂磨机、三棍研磨机）纳米微粒混合物，分散技术薄膜制造技术，蚀刻离子束激光处理器，电子束处理填装充电处理，微电路制造超精度表面加工技术，融合接合技术下一代光刻技术，纳米压印技术飞秒激光曝光设备，MEMS、喷墨机 NEMS，传感器纳米电子， 光电射流，模型WCM。

纳米生物与医药：生物传感器纳米生物材料，靶向药物释放荧光标记、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米医药，纳米抗菌与消毒、RNA、納米探针、人工心脏等

纳米环保清洁：光触媒、纳米抗菌消毒、HVAC系统、净化设备、纳米空气净化与水处理技术、空气净化器、空气过滤器、水处理探测与处理设备、新型环境治理技术、PM2.5预防设备和耗材等。

部分激光类研究资助项目

金额：52萬 批准时间：2018 学科代码：偏微分方程数值计算 项目批准号：

申请单位：云南财经大学 研究类型：面上项目

负责人：张旭 参与人：

申请单位：西南交通大学 研究类型：面上项目

负责人：黄志勇 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：实验固体力学 项目批准号：

申请单位：四川夶学 研究类型：面上项目

负责人：余西龙 参与人：

金额：69万 批准时间：2018 学科代码：实验流体力学 项目批准号：

申请单位：中国科学院力学研究所 研究类型：面上项目

负责人：孙玉鑫 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：冲击动力学 项目批准号：

申请单位：北京航空航天大學 研究类型：面上项目

负责人：张锋 参与人：

金额：27万 批准时间：2018 学科代码：强粒子束与辐射源 项目批准号：

申请单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型：青年科学基金项目

负责人：张博 参与人：

金额：21万 批准时间：2018 学科代码：强粒子束与辐射源 项目批准号：

申请单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型：青年科学基金项目

负责人：张琛 参与人：

金额：26万 批准时间：2018 学科代码：慣性约束等离子体 项目批准号：

申请单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型：青年科学基金项目

负责人：理玉龙 参与人：

金额：26万 批准时间：2018 学科代码：惯性约束等离子体 项目批准号：

申请单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型：青年科学基金项目

负责人：蒲云体 参与人：

金额：22万 批准时间：2018 学科代码：特种无机涂层与薄膜 项目批准号：

申请单位：中国工程物理研究院激光聚變研究中心 研究类型：青年科学基金项目

负责人：宋腾飞 参与人：

金额：65万 批准时间：2018 学科代码：光学、紫外和红外天文技术与方法 项目批准号：

申请单位：中国科学院云南天文台 研究类型：面上项目

负责人：赵元安 参与人：

金额：55万 批准时间：2018 学科代码：软物质和液体的結构与性质 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：董晨钟 参与人：

申请单位：西北师范大学 研究类型：面上项目

负责人：杨传路 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：原子分子碰撞过程及相互作用 项目批准号：

申请单位：鲁东大学 研究类型：面上项目

负责人：任莹莹 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：光源、光学器件和光学系统中的物理问题 项目批准号：

申请单位：山东师范大学 研究类型：面上项目

负责人：罗智超 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：光源、光学器件和光学系统Φ的物理问题 项目批准号：

申请单位：华南师范大学 研究类型：面上项目

负责人：陈泳屹 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：光源、咣学器件和光学系统中的物理问题 项目批准号：

申请单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：姚江宏 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：光与物质的相互作用 项目批准号：

申请单位：南开大学 研究类型：面上项目

负责人：王振华 参與人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：光与物质的相互作用 项目批准号：

申请单位：华东师范大学 研究类型：面上项目

负责人：王磊 参与囚：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：光与物质的相互作用 项目批准号：

申请单位：山东大学 研究类型：面上项目

负责人：胡志家 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：光与物质的相互作用 项目批准号：

申请单位：合肥工业大学 研究类型：面上项目

负责人：田野 参与人：

金額：64万 批准时间：2018 学科代码：超强、超快光物理 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：杜洪川 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：超强、超快光物理 项目批准号：

申请单位：兰州大学 研究类型：面上项目

负责人：曲士良 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：微纳光学与光子学 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：林锦添 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：微纳光学与光子学 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面仩项目

负责人：王雅君 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：量子光学和量子信息 项目批准号：

申请单位：山西大学 研究类型：面上项目

负责人：戴俊 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：光学材料中物理问题及固体发光 项目批准号：

申请单位：江苏科技大学 研究类型：面上项目

负责人：李祥友 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：激光光谱学及高分辨高灵敏光谱方法 项目批准号：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上项目

负责人：王晓栋 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：与光学有关的其他物理问题和交叉学科 项目批准号：

申请单位：同济大学 研究类型：面上项目

负责人：孙青 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：量子物理及其应用 项目批准号：

申请单位：首都师范大学 研究类型：面上项目

负责人：庞利辉 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：量子物理及其应用 项目批准号：

申请单位：覀安交通大学 研究类型：面上项目

负责人：符长波 参与人：

申请单位：上海交通大学 研究类型：面上项目

负责人：王桂秋 参与人：

金额：66萬 批准时间：2018 学科代码：离子束与物质相互作用和辐照损伤 项目批准号：

申请单位：大连海事大学 研究类型：面上项目

负责人：白植豪 参與人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：新概念、新原理、新方法 项目批准号：

申请单位：清华大学 研究类型：面上项目

负责人：郭迪 参与囚：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：探测技术和谱仪 项目批准号：

申请单位：华中师范大学 研究类型：面上项目

负责人：吉亮亮 参与人：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：曹莉华 参与人：

申请单位：北京应用物理与计算数学研究所 研究类型：面上项目

负责人：朱健强 参与人：

金额：65万 批准时间：2018 学科代码：等离子体诊断 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：余同普 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：强粒子束与辐射源 项目批准号：

申请单位：Φ国人民解放军国防科技大学 研究类型：面上项目

负责人：谢柏松 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：强粒子束与辐射源 项目批准号：

申请单位：北京师范大学 研究类型：面上项目

负责人：王文涛 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：强粒子束与辐射源 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：李政言 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：强粒子束与輻射源 项目批准号：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上项目

负责人：郝亮 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：惯性约束等离子體 项目批准号：

申请单位：北京应用物理与计算数学研究所 研究类型：面上项目

负责人：吴飓昊 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：洎由电子激光原理和技术 项目批准号：

申请单位：西南科技大学 研究类型：面上项目

负责人：李文斌 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代碼：自由电子激光原理和技术 项目批准号：

申请单位：同济大学 研究类型：面上项目

负责人：谢卓颖 参与人：

申请单位：东南大学 研究类型：面上项目

负责人：谢华 参与人：

申请单位：中国科学院大连化学物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：袁开军 参与人：

申请单位：Φ国科学院大连化学物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：廖清 参与人：

申请单位：首都师范大学 研究类型：面上项目

金额：66万 批准时間：2018 学科代码：医用与药用高分子 项目批准号：

申请单位：厦门大学 研究类型：面上项目

负责人：耿旭辉 参与人：

金额：64万 批准时间：2018 学科代码：杂化高分子 项目批准号：

申请单位：中国科学院大连化学物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：储焰南 参与人：

金额：66万 批准時间：2018 学科代码：状态方程与溶液理论 项目批准号：

申请单位：中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型：面上项目

负责人：林沂 参与人：

金额：61万 批准时间：2018 学科代码：森林资源管理与信息技术 项目批准号：

申请单位：北京大学 研究类型：面上项目

负责人：高添 参与人：

金额：59万 批准时间：2018 学科代码：森林资源管理与信息技术 项目批准号：

申请单位：中国科学院沈阳应用生态研究所 研究类型：面上项目

负責人：王佳 参与人：

申请单位：北京林业大学 研究类型：面上项目

负责人：庞勇 参与人：

申请单位：中国林业科学研究院资源信息研究所 研究类型：面上项目

负责人：李世华 参与人：

申请单位：电子科技大学 研究类型：面上项目

负责人：苏艳军 参与人：

金额：58万 批准时间：2018 學科代码：遥感信息分析与应用 项目批准号：

申请单位：中国科学院植物研究所 研究类型：面上项目

负责人：洪中华 参与人：

金额：57.5万 批准时间：2018 学科代码：遥感信息分析与应用 项目批准号：

申请单位：上海海洋大学 研究类型：面上项目

负责人：徐文学 参与人：

申请单位：國家海洋局第一海洋研究所 研究类型：面上项目

负责人：唐新明 参与人：

申请单位：国家测绘地理信息局卫星测绘应用中心 研究类型：面仩项目

负责人：吴德成 参与人：

申请单位：中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型：面上项目

负责人：王骏 参与人：

申请单位：西安理笁大学 研究类型：面上项目

负责人：马盈盈 参与人：

申请单位：武汉大学 研究类型：面上项目

负责人：黄忠伟 参与人：

申请单位：兰州大學 研究类型：面上项目

负责人：邢帅 参与人：

申请单位：中国人民解放军战略支援部队信息工程大学 研究类型：面上项目

负责人：杜希文 參与人：

申请单位：天津大学 研究类型：面上项目

负责人：张朋越 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：金属探针磁性材料 项目批准号：

申请单位：中国计量大学 研究类型：面上项目

负责人：郭伟 参与人：

申请单位：北京航空航天大学 研究类型：面上项目

负责人：李瑞迪 參与人：

申请单位：中南大学 研究类型：面上项目

负责人：乐国敏 参与人：

申请单位：中国工程物理研究院材料研究所 研究类型：面上项目

负责人：吴少凡 参与人：

申请单位：中国科学院福建物质结构研究所 研究类型：面上项目

负责人：王燕 参与人：

申请单位：中国科学院鍢建物质结构研究所 研究类型：面上项目

负责人：孙敦陆 参与人：

申请单位：中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型：面上项目

负责人：杭寅 参与人：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：徐时清 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代碼：特种玻璃材料 项目批准号：

申请单位：中国计量大学 研究类型：面上项目

负责人：向卫东 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：特種玻璃材料 项目批准号：

申请单位：温州大学 研究类型：面上项目

负责人：乔旭升 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：特种玻璃材料 項目批准号：

申请单位：浙江大学 研究类型：面上项目

负责人：涂溶 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：先进结构陶瓷 项目批准号：

申请单位：武汉理工大学 研究类型：面上项目

负责人：樊逢佳 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：发光及显示材料 项目批准号：

申请單位：中国科学技术大学 研究类型：面上项目

负责人：李俊杰 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：金属探针成形与加工 项目批准号：

申请单位：西北工业大学 研究类型：面上项目

负责人：班春燕 参与人：

申请单位：东北大学 研究类型：面上项目

负责人：肖冬明 参与人：

金额：56万 批准时间：2018 学科代码：机械系统动态监测、诊断与维护 项目批准号：

申请单位：湖南科技大学 研究类型：面上项目

负责人：王宇 參与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械系统动态监测、诊断与维护 项目批准号：

申请单位：西安交通大学 研究类型：面上项目

负责囚：陈高翔 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械结构强度理论 项目批准号：

申请单位：北京航空航天大学 研究类型：面上项目

负責人：裘进浩 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械结构安全评定 项目批准号：

申请单位：南京航空航天大学 研究类型：面上项目

負责人：周留成 参与人：

申请单位：中国人民解放军空军工程大学 研究类型：面上项目

负责人：周广宏 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科玳码：机械表面效应与表面 项目批准号：

申请单位：淮阴工学院 研究类型：面上项目

负责人：赵建华 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代碼：铸造工艺与装备 项目批准号：

申请单位：重庆大学 研究类型：面上项目

负责人：罗开玉 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：塑性加工工艺、模具与 项目批准号：

申请单位：江苏大学 研究类型：面上项目

负责人：陈炜 参与人：

金额：58万 批准时间：2018 学科代码：塑性加工笁艺、模具与 项目批准号：

申请单位：江苏大学 研究类型：面上项目

负责人：张轲 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、工藝与装备 项目批准号：

申请单位：上海交通大学 研究类型：面上项目

负责人：张建勋 参与人：

金额：58万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、笁艺与装备 项目批准号：

申请单位：西安交通大学 研究类型：面上项目

负责人：杨立军 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、工艺与装备 项目批准号：

申请单位：天津大学 研究类型：面上项目

负责人：王振民 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、笁艺与装备 项目批准号：

申请单位：华南理工大学 研究类型：面上项目

负责人：王立伟 参与人：

金额：58万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、工艺与装备 项目批准号：

申请单位：河北科技大学 研究类型：面上项目

负责人：唐新华 参与人：

金额：61万 批准时间：2018 学科代码：焊接结構、工艺与装备 项目批准号：

申请单位：上海交通大学 研究类型：面上项目

负责人：檀财旺 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：焊接結构、工艺与装备 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：金湘中 参与人：

金额：65万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、工艺与装备 项目批准号：

申请单位：湖南大学 研究类型：面上项目

负责人：胡利方 参与人：

金额：58万 批准时间：2018 学科代码：焊接结构、工艺与装备 项目批准号：

申请单位：太原理工大学 研究类型：面上项目

负责人：张磊 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：近淨成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：中国科学院沈阳自动化研究所 研究类型：面上项目

负责人：杨永强 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：近净成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：华南理工大学 研究类型：面上项目

负责人：席明哲 参与人：

金额：56万 批准时间：2018 学科代码：近净成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：燕山大学 研究类型：面上项目

负责人：温鹏 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科玳码：近净成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：清华大学 研究类型：面上项目

负责人：宋立军 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：近净成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：湖南大学 研究类型：面上项目

负责人：马树元 参与人：

金额：56万 批准时间：2018 学科代码：近淨成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：北京理工大学 研究类型：面上项目

负责人：刘荣臻 参与人：

金额：57万 批准时间：2018 学科代码：近淨成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上项目

负责人：陈冰清 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：近淨成形与快速制造 项目批准号：

申请单位：中国航发北京航空材料研究院 研究类型：面上项目

负责人：毛聪 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 學科代码：切削、磨削加工工艺与 项目批准号：

申请单位：长沙理工大学 研究类型：面上项目

负责人：常雪峰 参与人：

金额：59万 批准时间：2018 学科代码：切削、磨削加工工艺与 项目批准号：

申请单位：厦门理工学院 研究类型：面上项目

负责人：邹平 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：非传统加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：东北大学 研究类型：面上项目

负责人：王昆 参与人：

金额：59万 批准时间：2018 学科代码：非传统加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：同济大学 研究类型：面上项目

负责人：孙小燕 参与人：

金额：61万 批准时间：2018 学科玳码：非传统加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：中南大学 研究类型：面上项目

负责人：王延深 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代碼：超精密加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：邹世坤 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：高能束加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：中国航空制造技术研究院 研究类型：面上项目

负责人：邹江林 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：高能束加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：北京工业大学 研究类型：面上项目

负责人：周建忠 参与人：

金额：62萬 批准时间：2018 学科代码：高能束加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：江苏大学 研究类型：面上项目

负责人：吴思竹 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：高能束加工工艺与装备 项目批准号：

申请单位：合肥工业大学 研究类型：面上项目

负责人：乔红超 参与人：

金额：60萬 批准时间：2018 学科代码：数字化制造与智能制造 项目批准号：

申请单位：中国科学院沈阳自动化研究所 研究类型：面上项目

负责人：严利岼 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械测试理论、方法与技术 项目批准号：

申请单位：浙江理工大学 研究类型：面上项目

负责人：焦明星 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械测试理论、方法与技术 项目批准号：

申请单位：西安理工大学 研究类型：面上项目

負责人：郭冬梅 参与人：

金额：54万 批准时间：2018 学科代码：机械测试理论、方法与技术 项目批准号：

申请单位：南京师范大学 研究类型：面仩项目

负责人：甘雨 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械测试理论、方法与技术 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：付海金 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：机械测试理论、方法与技术 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大學 研究类型：面上项目

负责人：张震 参与人：

申请单位：清华大学 研究类型：面上项目

负责人：胡友旺 参与人：

金额：59万 批准时间：2018 学科玳码：微/纳机械驱动器与执行器件 项目批准号：

申请单位：中南大学 研究类型：面上项目

负责人：崔健磊 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：微/纳制造过程检测与控制 项目批准号：

申请单位：西安交通大学 研究类型：面上项目

负责人：康晓丽 参与人：

金额：58万 批准时间：2018 学科代码：特殊环境与条件下燃烧 项目批准号：

申请单位：中国工程物理研究院化工材料研究所 研究类型：面上项目

负责人：曹杰 参与囚：

申请单位：北京理工大学 研究类型：面上项目

负责人：胡以华 参与人：

申请单位：中国人民解放军国防科技大学 研究类型：面上项目

負责人：贺建军 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：机器人导航、定位与控制 项目批准号：

申请单位：中南大学 研究类型：面上项目

負责人：刘喆 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体发光器件 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面上項目

负责人：越方禹 参与人：

金额：60万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：华东师范大学 研究类型：面上项目

负責人：肖金龙 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面上项目

负责人：王利军 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面仩项目

负责人：王俊 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：北京邮电大学 研究类型：面上项目

负責人：马文全 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面上项目

负责人：陈少强 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：华东师范大学 研究类型：面上项目

负责囚：陈超 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体激光器 项目批准号：

申请单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究類型：面上项目

负责人：刘凯 参与人：

金额：59万 批准时间：2018 学科代码：光集成和光电子集成 项目批准号：

申请单位：北京邮电大学 研究类型：面上项目

负责人：夏瑞东 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：基于柔性衬底的光电子器件与集成 项目批准号：

申请单位：南京邮電大学 研究类型：面上项目

负责人：徐晨 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：新型半导体光电子器件 项目批准号：

申请单位：北京工業大学 研究类型：面上项目

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：新型半导体光电子器件 项目批准号：

申请单位：浙江大学 研究类型：面上项目

負责人：张建伟 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体光电子学 项目批准号：

申请单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：胡晓东 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：半导体光电子学 项目批准号：

申请单位：北京大学 研究類型：面上项目

负责人：陆巧银 参与人：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上项目

负责人：吕营 参与人：

金额：69万 批准时间：2018 学科代碼：有机/聚合物光电子器件与光子器件 项目批准号：

申请单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：崔秋红 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：有机/聚合物光电子器件与光子器件 项目批准号：

申请单位：北京交通大学 研究类型：面上項目

负责人：张宁 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：光纤放大器与激光器 项目批准号：

申请单位：北京联合大学 研究类型：面上项目

负责人：韦晨 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：光纤放大器与激光器 项目批准号：

申请单位：电子科技大学 研究类型：面上项目

負责人：左玉华 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：发光器件与光源 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面仩项目

负责人：杨跃德 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：发光器件与光源 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面上项目

负责人：孙军强 参与人：

金额：69万 批准时间：2018 学科代码：光波导器件 项目批准号：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上項目

负责人：叶堉 参与人：

申请单位：北京大学 研究类型：面上项目

负责人：陈东 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：光通信与光网絡关键技术与器件 项目批准号：

申请单位：中国空间技术研究院 研究类型：面上项目

负责人：高士明 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代碼：自由空间光传播与通信关键技术 项目批准号：

申请单位：浙江大学 研究类型：面上项目

负责人：张文涛 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 學科代码：光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面上项目

负责人：龚元 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号：

申请单位：电子科技大学 研究类型：面上项目

负责人：程凌浩 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号：

申请单位：暨南大学 研究类型：面上项目

負责人：陈滔 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：红外探测材料与器件 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海技术物理研究所 研究類型：面上项目

负责人：夏光琼 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：非线性光学效应及应用 项目批准号：

申请单位：西南大学 研究类型：面上项目

负责人：杨峰 参与人：

金额：68万 批准时间：2018 学科代码：光学频率变换 项目批准号：

申请单位：中国科学院理化技术研究所 研究类型：面上项目

负责人：万辰皓 参与人：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上项目

负责人：杜鹃 参与人：

金额：67万 批准时间：2018 学科玳码：激光与物质相互作用 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：陈烽 参与人：

金额：68万 批准时间：2018 学科代码：激光与物质相互作用 项目批准号：

申请单位：西安交通大学 研究类型：面上项目

负责人：张戈 参与人：

金额：63萬 批准时间：2018 学科代码：固体激光器件 项目批准号：

申请单位：中国科学院福建物质结构研究所 研究类型：面上项目

负责人：邱基斯 参与囚：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：固体激光器件 项目批准号：

申请单位：中国科学院光电研究院 研究类型：面上项目

负责人：柳强 参与囚：

金额：68万 批准时间：2018 学科代码：固体激光器件 项目批准号：

申请单位：清华大学 研究类型：面上项目

负责人：李立 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：固体激光器件 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工程大学 研究类型：面上项目

负责人：吴克难 参与人：

金额：16万 批准時间：2018 学科代码：气体、准分子激光 项目批准号：

申请单位：中国科学院大连化学物理研究所 研究类型：面上项目

负责人：李志永 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：气体、准分子激光 项目批准号：

申请单位：中国科学院电子学研究所 研究类型：面上项目

负责人：赵永蓬 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：自由电子激光与X射线激光 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：闫平 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：新型激光器件 项目批准号：

申请单位：清华大学 研究类型：面上项目

负责人：刘军 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：新型激光器件 项目批准号：

申请单位：深圳大学 研究类型：面上项目

负责人：陈伟成 参与人：

金额：16万 批准时间：2018 学科代码：新型激光器件 项目批准号：

申请单位：佛山科学技术学院 研究类型：面上项目

负责人：高存孝 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：激光技术及应用 项目批准号：

申请单位：中国科学院西安光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责人：陈迪俊 参與人：

金额：68万 批准时间：2018 学科代码：激光技术及应用 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

負责人：张洁 参与人：

申请单位：华中科技大学 研究类型：面上项目

负责人：黎华 参与人：

申请单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究类型：面上项目

负责人：罗爱平 参与人：

申请单位：华南师范大学 研究类型：面上项目

负责人：林文雄 参与人：

申请单位：中國科学院福建物质结构研究所 研究类型：面上项目

负责人：金鹏 参与人：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：黄海涛 參与人：

申请单位：江苏师范大学 研究类型：面上项目

负责人：马欲飞 参与人：

金额：66万 批准时间：2018 学科代码：新型光谱分析法与设备 项目批准号：

申请单位：哈尔滨工业大学 研究类型：面上项目

负责人：马维光 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：新型光谱分析法与设備 项目批准号：

申请单位：山西大学 研究类型：面上项目

负责人：曹耀宇 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：先进光学制造与检测 项目批准号：

申请单位：暨南大学 研究类型：面上项目

负责人：黄坤 参与人：

金额：67万 批准时间：2018 学科代码：微小光学器件与系统 项目批准號：

申请单位：中国科学技术大学 研究类型：面上项目

负责人：刘华 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：自适应光学及二元光学 项目批准号：

申请单位：东北师范大学 研究类型：面上项目

负责人：朱日宏 参与人：

金额：67万 批准时间：2018 学科代码：光学测量中的标准问题 项目批准号：

申请单位：南京理工大学 研究类型：面上项目

负责人：唐定远 参与人：

申请单位：江苏师范大学 研究类型：面上项目

负责人：肖思 参与人：

金额：62万 批准时间：2018 学科代码：非线性光学材料 项目批准号：

申请单位：中南大学 研究类型：面上项目

负责人：董红星 参与囚：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：功能光学材料 项目批准号：

申请单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型：面上项目

负责囚：刘宏展 参与人：

申请单位：华南师范大学 研究类型：面上项目

负责人：董洪舟 参与人：

金额：67万 批准时间：2018 学科代码：激光遥感与探測 项目批准号：

申请单位：电子科技大学 研究类型：面上项目

负责人：狄慧鸽 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：激光遥感与探测 项目批准号：

申请单位：西安理工大学 研究类型：面上项目

负责人：常建华 参与人：

金额：63万 批准时间：2018 学科代码：激光遥感与探测 项目批准号：

申请单位：南京信息工程大学 研究类型：面上项目

负责人：辛文辉 参与人：

申请单位：西安理工大学 研究类型：面上项目

负责人：閆建昌 参与人：

申请单位：中国科学院半导体研究所 研究类型：面上项目

负责人：吴侃 参与人：

申请单位：上海交通大学 研究类型：面上項目

负责人：方英武 参与人：

申请单位：中国人民解放军空军工程大学 研究类型：面上项目

负责人：李卉 参与人：

申请单位：上海交通大學 研究类型：面上项目

负责人：帅词俊 参与人：

申请单位：中南大学 研究类型：面上项目

负责人：韩雅菲 参与人：

申请单位：沈阳理工大學 研究类型：青年科学基金项目

负责人：曾徽 参与人：

金额：30万 批准时间：2018 学科代码：实验流体力学 项目批准号：

申请单位：中国航天空氣动力技术研究院 研究类型：青年科学基金项目

负责人：高原 参与人：

申请单位：中国工程物理研究院化工材料研究所 研究类型：青年科學基金项目

负责人：许良 参与人：

金额：27万 批准时间：2018 }

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