原子力显微镜(AFM)是微纳米操作中不鈳或缺的有效工具,在材料,生物等领域的研究中发挥着重要作用.但是,目前普通原子力显微镜在探针逼近样品的过程中仍然需要操作者的经验判断,不仅自动化程度低,可靠性差,而且操作步骤繁琐,易于损坏探针.为了解决上述问题,本文提出一种基于机器视觉和精确力反馈控制的AFM 探针自動逼近方法.该方法分为粗,精两步完成探针快速逼近.首先,利用聚焦深度重建方法计算了AFM 探针与待扫描样品表面之间的距离(百微米级),完成探针粗定位;然后,精定位过程中,使用 AFM反馈控制技术控制探针和样品之间的作用力达到设定值,实现探针针尖和样品表面的距离达到扫描范围.实验表奣,该方法定位精度高,稳定可靠,对探针无损害,可实现探针和样品的连续自动逼近,对于提升AFM 的操作效率具有重要意义.