这两層在制造上的先后顺序是怎样的DIFF层扩散的是什么东西呢?
这样理解对不对:DIFF只是定义了有源区的范围而NIMP定义了n+离子注入的范围,这
个范围肯定是要比DIFF定义的大而DIFF并没有说要扩散什么东西。
附件中第一页给出了butting contact的一个例子第二页中的layout我认为是错误的。
我把DIFF层连在一起之后这个错误消失,也就是这时才真正形成butting contact因此
但是我不是很明白你说的“DIFF连在一起”是什么意思,我画layout是没有DIFF這一层的只有N+和P+,DIFF是这两层运算得来的还是不太明白你的问题是什么。
S接到地的源的contact(打在n+上)和接衬底的contact(打在p+上)紧挨在一起這样
横向寄生NPN管的基极和发射极间的电阻变得很小。
我指的DIFF层在附件中是指红色的那一层工艺是TSMC.18um。
可能你的工艺套件层定义的不一样N+矗接就表示了n+ implant 加上diffusion了。而
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}but just仅;只得唯此而已
but few只有几个,鈈多几个
but good[美国口语]彻底地完全;狠狠地;有力地;毫无疑问
but and[古苏格兰英语]另外,而且也