BBO倍频法测定光束发散角--《量子电子学报》2000年04期
BBO倍频法测定光束发散角
【摘要】：光束发散角的测定方法有多种，本文提出一种新的测定方法，利用ＢＢＯ晶体倍频中的角度匹配来测定发散角，精度较高．
【作者单位】：
【关键词】：
【分类号】：TN24【正文快照】：
ｌ引言 在光学技术中，激光光束发散角的测定是一个经常碰到的问题，而且发散角是光束质量的一个重要评价指标；测定光束发散角有多种方法，最传统的方法为透镜聚焦法，其光路布置如图１所示，其原理是让激光器输出的激光直接通过一个焦距为ｆ的透镜，在透镜的焦平面上用 接
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【引证文献】
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LIU HUILAN, SHA DINGGUO, LIU MENGXIA, CHEN LINGFENG Dept. of Photo-Electronic Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing, C[A];Proceedings of the 5th International Symposium on Test and Measurement(Volume 1)[C];2003年
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李宏;刘正东;;[J];江西师范大学学报(自然科学版);1989年04期
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熊见芳;[J];激光杂志;1999年02期
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雷小丽;[D];西北大学;2004年
欧丽华;[D];湖南师范大学;2007年
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罗长洲,陈良益,孙岩,高立民,胡晓东,温利;[J];光学精密工程;2003年01期
房启勇,施浣芳,高洪尧;[J];光学技术;2003年01期
侯昌伦,白剑,侯西云,杨国光;[J];光学仪器;2004年01期
李宾中,曾林泽,薛晋惠;[J];贵州大学学报(自然科学版);2004年03期
梁雁冰,曹剑中,王胡顺;[J];光子学报;1998年11期
朱召胜,吴庭万;[J];华南理工大学学报(自然科学版);2001年03期
甘巧强,朱晓鹏,潘学俭,邓捷,宋国锋,陈良惠;[J];激光技术;2004年03期
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长春理工大学
硕士学位论文
微电子加工用266nm紫外DPL
姓名：郝大伟
申请学位级别：硕士
专业：光学
指导教师：金光勇
座机电话号码
266nm紫外激光具有高光子能量、高聚焦能力和高的空间成像分辨率，非常
适合加工微电子器件。本文以高效获取连续266nm激光输出为目标对266nm全
固态紫外激光器的关键技术进行了理论和实验研究，并获取了连续266nm激光。
主要研究内容概括如下：
1．利用简化四能级激光速率方程粗略推算端面泵浦激光器输出功率与泵浦
功率关系。
2．基于稳态热传导方程，采用更符合实际热传导过程的对流边界条件，利
用有限差分法模拟增益介质在泵浦光抽运、侧面水冷却条件下的三维温度分布，
分析热效应对激光运转的负面影响。
3．运用稳定谐振腔理论讨论热不灵敏稳定腔的设计原则，通过在谐振腔中
插入透镜获得了良好的热补偿效果。
4．根据相位匹配条件和非线性极化波方程推导KTP、BBO的倍频过程相关
参数，研究弱功率基频光光束质量与倍频效率、最佳倍频晶体长度的关系。阐述
了比以往研究更符合真实物理过程的外环型腔对基频光增强的机理。
5．通过对端面泵浦532nmDPL腔外透镜聚焦倍频的实验研究，获得了连续
266nm激光输出，其功率宏观不可测。
关键词：266nm紫外激光器端面泵浦热效应外腔谐振倍频
266nmultravioletlaseris
microelectronics
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