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电子束蒸镀过程射频自体辉光放电等离子体诊断.pdf64页
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国内图书分类号：TG409
学校代码：10213
国际图书分类号：621.791
密级：公开
工学硕士学位论文
电子束蒸镀过程射频自体辉光放电的
等离子体诊断
硕 士 研 究 生：陈琼
师：王浪平教授
位：工学硕士
科：材料加工工程
单 位：材料科学与工程学院
日 期：2011 年 6 月
授予学位单位：哈尔滨工业大学
Classified Index: TG409
U.D.C: 621.791
Dissertation for the Master Degree in Engineering
THE DIAGNOSE OF SELF-PLASMA
IN RADIO-FREQUENCY GLOW DISCHARGE
DURING ELECTRON BEAM EVAPORATION
Candidate ：
Chen Qiong
Supervisor：
Prof.Wang Langping
Academic Degree Applied for ：
Master of Engineering
Speciality ：
Material Processing Engineering
Affiliation ：
Engineering
Date of Defence ：
June, 2011
Degree-Conferring-Institution ： Harbin Institute of Technology
哈尔滨工业大学工学硕士学位论文
为了克服电子束蒸镀技术存在的不足，提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力，
从而扩大电子束蒸镀技术的应用范围。本文在实验室原有电子束蒸镀设备的基
础上，对其进行改造添加了射频线圈。实验中，首先在射频线圈上接入频率为
的射频电源，在坩埚与射频
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