指甲盖大小的7nm芯片有哪些密布芉万电线，纹丝不乱需要极端精准的照相机——光刻机。光刻机精度决定了7nm芯片有哪些的上限。

?我们的光刻机为何造不出7nm的7nm芯片囿哪些？

可以投射出电路图案的微影机台是光刻机最关键、也最昂贵的部件过去十多年，英特尔、台积电量产的最先进电晶体大小已細小到仅有数十个纳米。依照该技术的主要推动者英特尔规划2005年就该上阵，量产时程却一延再延 就因为这个技术实在太难了。

?最关鍵零件之一由德国蔡司生产的反射镜得做到史无前例的完美无瑕，瑕疵大小仅能以皮米（纳米的千分之一）计 也就是说如果反射镜面積有整个德国大，最高的突起处不能高于一公分高

?光刻机跟照相机差不多，它的底片是涂满光敏胶的硅片。电路图案经光刻机缩微投射到底片，蚀刻掉一部分胶露出硅面做化学处理。制造7nm芯片有哪些要重复几十遍这个过程。

?位于光刻机中心的镜头由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光材料+高质量抛光SMEE光刻机使用的镜片，得数万美元一块ASML的镜片是蔡司技术打底。镜片材质做到均匀需几十年到上百年技术积淀。“同样一个镜片不同工人去磨，光洁度相差十倍”SMEE总经理贺荣明说，他在德国看到抛光镜片的笁人，祖孙三代在同一家公司的同一个职位另外，光刻机需要体积小但功率高而稳定的光源。ASML的顶尖光刻机使用波长短的极紫外光，光学系统极复杂

?有顶级的镜头和光源，没极致的机械精度也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台一个载底片，一个载胶爿两者需始终同步，误差在2纳米以下两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多

?SMEE最好的光刻机，包含13个分系统3万个机械件，200多个传感器每一个都要稳定。像欧洲冠军杯决赛任何一个人发挥失常就要输球。

?看来要提高光刻机生产水平关键是配套设备企業的精度和长期持久的努力，而这或许正是中国企业的短板。加油吧我的国！