“power”这个词可译为动力、能源、功率等而在中文里这些词的含义不是完全相同的。由于行业的动态发展“power”的翻译发生了变化。

从上世纪六七十年代至八十年代初功率半导体器件主要是可控硅整流器(scr)、巨型晶体管(gtr)和其后的栅关断晶闸管(gto)等。它们的主要用途是用于高压输电以及制造将电网的380v或220v交流電变为各种各样直流电的中大型电源和控制电动机运行的电机调速装置等，这些设备几乎都是与电网相关的强电装置因此，当时 国把这些器件的总称———power semiconductor devices没有直译为功率半导体器件而是译为电力电子器件，并将应用这些器件的电路技术power electronics没有译为功率电子学而是译为電力电子技术。与此同时与这些器件相应的技术学会为中国电工技术学会所属的电力电子分会，而中国电子学会并没有与之相应的分学會；其制造和应用的行业归口也划归到原第一机械工业部和其后的机械部这些都是顺理成章的。实际上从直译看国外并无与电力电子楿对应的专业名词，即使日本的“电力”与中文的“电力”也是字型相同而含义有别此外，当时用普通晶体管集成的小型电源电路———功率集成电路并不归属于电力电子行业，而是和其他集成电路一起归口到原第四机械工业部和后来的电子工业部

20世纪80年代以后，功率半导体行业发生了翻天覆地的变化功率半导体器件变为以功率金属氧化物半导体场效应晶体管(功率mosfet，常简写为功率mos)、绝缘栅双极晶体管(igbt)以及功率集成电路(power ic常简写为pic)为主。

这一转变的主要原因是这些器件或集成电路能在比以前高10倍以上的频率下工作，而电路在高频工莋时能更节能、节材能大幅减少设备体积和重量。尤其是集成度很高的单片片上功率系统(power system on a chip简写psoc)，它能把传感器件与电路、信号处理电蕗、接口电路、功率器件和电路等集成在一个硅芯片上使其具有按照负载要求精密调节输出和按照过热、过压、过流等情况自 进行保护嘚智能功能，其优越性不言而喻国际专家把它的发展喻为第二次电子学革命。

ASML的第一个商业计划是一份纲领文件贾特·斯密特竭尽全力筹集资金：善意的谎言，夸张的数字和不切实际的目标。但他自己有一个清晰的愿景。

根据对芯片市场的选择性預测加上理查德·乔治、约普·范凯塞尔、吉尔·詹森和首席财务官杰拉德·韦尔登肖特提供的信息，贾特·斯密特在1984年夏天提出了一个雄惢勃勃的商业计划。芯片行业正在蓬勃发展对设备的需求量远远超过了供应量。ASML的团队援引分析师的话说在可预见的将来，形势仍将洳此乐观分析师的报告充满了鼓舞人心的数据。

ASML的管理团队从里克·鲁德尔、Dataquest和行业期刊Electronics 的报告中获得了各种数据这些报告中的预测嘟有些不同，但斯密特将其总结为良好的态势并预测未来将出现直线增长：1988年全球步进光刻机的销售量将为1,200～1,800台，总价值将为8.4亿～12.6亿美え

计划中的论据和数据被有倾向地用来解释市场状况，这是个善意的谎言斯密特和他的团队需要资金，很多资金因此，他们于1984年8月6ㄖ发送给ASML股东和管理团队的商业计划是一份高度形式化的文件其主旨为：随着时间的推移，公司会赚大钱计划中所描绘的蓝图必须吸引股东尽可能多地投资。

对于任何了解ASML真实情况和对半导体市场有所了解的人来说这份商业计划是非常荒谬的。例如斯密特在文件中說，公司将在1986年1月1日仅用18个月就为下一代芯片设计交付一台新机器——可首次用于VLSI芯片生产测试的机器斯密特甚至写道，他计划一次开發并制造10～15台光刻机这将是了不起的成就。但是在那时这种精密机器的生产准备时间不出意外都至少需要18个月。

乔治一直告诉管理团隊斯密特的远大计划是完全不现实的。斯密特声称ASML将在1986年出售60～70台光刻机，因此公司将实现它的目标——在那一年盈利“这意味着峩们必须大规模生产，并在两年内发售机器”乔治告诉斯密特，“这绝不可能”

乔治还有其他的不满。斯密特声称公司的研发人员需要在1985年迅速增加到80名，并预测研发团队的规模在随后几年内基本保持不变“这严重低估了实际情况。”脾气暴躁的乔治对斯密特吼道

但ASML的首席执行官有一个更高的目标。他必须表明整个项目不是一个亏钱的生意，速度是至关重要的ASML正在与另外9位竞争者比拼谁先研發出下一代机器。时间期限只有短短的两年为了实施他的战略，斯密特需要1亿美元他非常清楚，这个数额是他的股东们完全不能接受嘚所以他改成了5,000万美元。这也是斯密特有意在商业计划中将研发人员人数的估计值设定在较低水平的原因实际上，他根本不在乎数字而只想全速推进项目。他将在几个月内聘请100多名开发人员1985年ASML将继续招聘工程师。

这家只有4个月历史的公司的远大计划是什么其商业計划显示，到1988年年底该公司应跻身全球三大步进光刻机供应商之列；1986年，公司应该扭亏为盈；3年后的1989年它计划还清所有债务。斯密特寫道在登顶的路上，ASML首先必须穿越一个深谷到1985年年底，其累计亏损将达到2,000万美元“与潜在投资者的谈判已经开始了，”他写道“峩需要5,000万美元，我们正面临着一项复杂而且影响深远的任务”斯密特还在商业计划的总结中写道：“不仅仅是因为我们已经没有多少时間。市场就在那里我们提供的产品经过检验且具有竞争力。目前我们面临的挑战是在短时间内制造足够多的机器并抢占所需的市场份額。”

斯密特写道ASML内部拥有所有的关键技术，成功将机器推向市场只是组织工作的问题他无数次强调，如果成功回报将是巨大的。“我们会成功雇用所需的人力资源并成立一家人均收入为50万美元的高科技公司，这个计划没有可行的替代方案”他用坚决的语气结束叻报告。

在ASML于1984年8月提交的商业计划中贾特·斯密特尽可能地将员工数量的估计值设定得较低，以使他的投资计划能顺利通过。负责PAS 2500系统開发工作的理查德·乔治从另一个角度解读这个计划。他在商业计划书副本的空白处写道：“这严重低估了！”

乔治的判断是正确的。1987年姩末参与研发和生产的工程师的数量将是斯密特在1984年设定的估计值的近4倍：不是62人，而是218人其余员工（行政、销售和营销）的数量将增长到162人，是斯密特最初估计的8倍

斯密特的商业计划在各方面都十分乐观。他仍然打算出售几十台油压驱动的PAS 2000事实上，他知道这是不呔可能的各方消息都认为，芯片制造商对这种滴着油的机器不感兴趣不仅如此，机油系统的发电机比光刻机本身都大并且产生了很哆噪声，需要定制外壳来减少噪声但显然，ASML仍希望将其库存硬卖给那些想要尝试其高级对准系统的公司

事实上，ASML在飞利浦工业园区的TQ夶楼中的员工仍然忙于油压驱动型步进光刻机的研发工作合资企业在刚成立时，在母公司ASM的坚持下买入了大量零件

1984年8月，ASML仍然没有放棄油压装置事实上，这家制造商计划在同月为另外10台PAS 2000订购零件“以防我们需要生产的PAS 2000的数量超出预期。”商业计划书中写道

斯密特過度夸大了PAS 2000的竞争力。例如商业计划书说，该系统是可靠的并在生产环境中得到检验。据称油压驱动的步进光刻机在产品良率和产量上击败了由GCA、尼康、Perkin-Elmer公司和优特公司制造的机器。其良率优于市场上的其他产品只有优特的投影扫描光刻机在吞吐量上超过PAS 2000。

然而只偠一瞥就可发现这台光刻机的弱点于是谎言就被揭穿了。尽管假设将售出大量PAS 2000但商业计划里明确指出的一些基本要求，如电动工作台、处理6英寸晶圆的能力以及更大视野的镜头这台机器都不具备。“PAS 2000的基本功能是无可比拟的但这些根本性的缺点使它无法大量出售。”该商业计划还坦诚地说明了售后服务和客户承诺情况在这些方面，PAS 2000的得分明显低于竞争对手

1984年8月，ASML仍然乐观地认为会有客户愿意尝試PAS 2000无论如何，这些不利因素并没有阻止斯密特预测当年将再出售4台油压驱动的步进光刻机虽然当时只剩下4个月的时间了。1985年他的目標是卖出20台。他的目标设定基于这样的假设：芯片制造设备仍然是卖方市场芯片制造商会购买他们能买到的任何东西。

这个商业计划在某种程度上仍沿用了飞利浦的思维模式：这台机器的对准系统非常先进在这个急需生产设备的技术驱动型市场中，芯片制造商将乐意尝試用PAS 2000进行生产测试他们将购买它们并期待着“1986年年初更有竞争力的PAS 2500”，而PAS 2500在带有电动晶圆台的同时取消了油压驱动系统

这个商业计划還表明，ASML在满足潜在客户需求方面面临着许多重大的问题很明显，光刻已经发展成为一种战略技术芯片制造商知道他们在相当长的一段时间内与光刻机供应商的关系是密不可分的，这使得稳定性和耐用性变得非常重要他们的选择也是非常看重技术的，他们希望芯片设備制造商已经具备与大公司合作的实践经验

事实上，ASML几乎无法满足这些要求有盈利的ASM和庞大的飞利浦的支持，公司只能证明其在财务仩相对稳定此外，它目前拥有一张技术王牌：能够实现精准套刻的对准技术但由于这项技术被应用于油压驱动的机器中，这使得整台機器实际上都是无法出售的

斯密特转而为解决方案开展繁忙的营销活动。1984年年底他想在行业报刊上宣传ASML无与伦比的对准技术。然后在1985姩上半年他想在商业媒体上进行第二轮营销活动，强调ASML对客户的长期承诺他还想在服务和售后支持上大力投资。

这两次营销活动和作為测试机器售出的PAS 2000从销售理论上说会在1985年下半年为PAS 2500带来订单。这是一个乐观的预测ASML甚至想在美国和日本实现开发和生产，毕竟90%的市场茬这两个国家1984年他们在美国凤凰城建立了一个演示实验室，1985年建立了销售办事处1986年建立了生产设施，并在硅谷建立了第二个演示实验室斯密特计划1988年在日本也照搬这样的模式。如果到那时年产量超过300台ASML将加快其国际扩张的步伐。

围绕半导体市场的炒作对斯密特有利但几个月后，灾祸来临经济衰退将使芯片行业在未来3年内都处于低谷。但是在1984年8月还没有任何灾难即将来临的迹象。ASML的商业计划大膽预测光刻机的市场在未来4年内都将呈直线增长

这并不是说没有麻烦，斯密特和他的管理团队确实看到了一些即将到来的难题他们写噵，光刻机供应商在1984年和1985年将继续享受卖方市场但之后的竞争将加剧，从而产生定价压力并最终导致价格下滑他们预测，ASML的9个竞争对掱最终只会剩下5个

这一判断也完全取决于大量的资金投入。斯密特强调半途而废是浪费精力；如果他们这样做，ASML肯定会在几年内倒闭如果市场保持线性增长，ASML最好的情况是在1988年销售400台光刻机；如果情况不那么乐观他们仍然能卖出250台。这将使ASML占据25%的市场份额这家荷蘭公司计划在美国销售大部分光刻产品，在日本和欧洲销售其余产品当时，日本已经拥有45%的芯片市场和美国一样。

尽管存在各种公司政治、夸大的数字和极不现实的目标ASML的第一个商业计划是富有远见的。斯密特描述了定价和产品差异化的战略选项并得出结论：他的公司需要专注于降低生产芯片的成本。换句话说就是只要能低成本地产出芯片，设备就可以卖得很贵即使在他的第一个商业计划中，斯密特也认为降低拥有成本是维持公司长期发展的最佳方式而不应像其他设备供应商和竞争对手那样只是寻求倾销旧库存。

简单地说晶圆光刻机无异于“印钞机”。只要它够快机器的成本就无关紧要了。能够交付比竞争对手“印钞”速度更快的机器就可以收取更多嘚费用，而价格在销售过程中起着次要作用斯密特认为：“这就是我们确保高投资能得到高回报的方式。”

正如斯密特所写的那样从投影扫描光刻机到步进光刻机的行业转型，突显了拥有成本战略的价值步进光刻机比投影扫描光刻机贵得多，而且由于曝光过程较慢其啟动效率要低得多但是，步进光刻机的极高精度可制造质量更好的芯片并使投射更小的电路图成为可能。因此同样的芯片只占用更尛的晶圆，从而大大降低了生产成本

拥有成本将成为ASML销售和营销战略的核心。在20世纪90年代ASML未来的首席执行官威廉·马里斯（Willem Maris）将其称為“所有权的价值”。从技术上讲电动晶圆台将是ASML实现步进光刻机高吞吐量的基石。但是在斯密特提出他的商业计划的时候Natlab的该项技術还没有发展成熟，尚不能进入应用阶段

ASML的商业计划中收集的知识提供了一个相当不错的机会来考察光刻机领域。它表明GCA已经面临压力并正确地预测了这家美国光刻机供应商将失去市场份额，即使他们不是很清楚原因根据ASML的商业计划，市场领导者拥有高销售额和完善嘚服务但实际上到1984年夏天，GCA的服务已经非常糟糕了该计划还正确地指出，尽管有改进的方法但GCA的步进光刻机不是很先进。

当时佳能和Perkin-Elmer都是迅速增长的厂商。两家公司主要供应光刻机他们的市场份额分别为1%和5%。然而分析师预测，未来4年他们的市场份额将分别增長到15%和23%。对Perkin-Elmer的预测主要基于公司的声誉多年来，它一直主导着光刻机市场

分析师预测，Perkin-Elmer在美国和欧洲的强大的专业销售组织将刺激公司通过收购Censor来获得步进光刻机业务的大幅增长ASML的商业计划简要地描述其美国竞争对手“可能成为市场领导者”。对佳能的主要预测与未來几年的实际发展大致相同但Perkin-Elmer实际上在几年后退出了市场，因为Censor的步进光刻机技术性能不佳

总之，这份商业计划是一次关于积极思考嘚了不起的实践斯密特写道：“没有一个供应商拥有绝对的优势地位，只有GCA和尼康有限地例外”“有限”一词表明，斯密特还没有意識到尼康有多强大他的预测是基于该公司第一代声誉不佳的产品：尼康的早期机型主要是基于GCA的机器研发的，这些机器需要操作员不断調整设置来维持运行欧洲显然与美国厂商一样对尼康的新机器的先进一无所知。这也是斯密特认为他有2年时间提高销量的原因之一

由於他访问了奈梅亨的Elcoma和汉堡的瓦尔沃，斯密特非常了解芯片制造商对战略光刻技术的看法以及在这个市场站稳脚跟是多么困难。他的SEMICON West展會之行只是让他更确信这一观点GCA是最早进入市场的，自1978年以来它占据了相当大的市场份额。而尼康近年来成为了后起之秀但所有这些都没有阻止斯密特志存高远。

商业计划也反映了20世纪80年代初人们对芯片技术发展的殷切期望显然，Perkin-Elmer公司销售的1︰1投影扫描光刻机的黄金时期已经过去由于晶圆越来越大，这些机器的性能也濒临极限商业计划认为，投影扫描光刻机的市场规模将在1983年和1984年达到顶峰这┅说法在随后几年成为现实。

与当时的预测完全一致商业计划预测光学技术将在10年内达到极限。几乎每个人都同意可用光源的波长是芯片成像的限制因素。正如投影扫描光刻机一样重复曝光光刻机的寿命也有限。

事实上ASML的三大目标之一是在20世纪80年代末成为公认的光刻设备量产供应商。该计划清楚地表明在制造芯片的光学方法方面，该行业目前仍有很多不确定性这就是发展电子束光学和X射线光刻技术成为其第二要务的原因：可以用来争取前三名的市场地位，但需要先扭亏为盈并偿还所有债务

当时业界对电子束直写技术抱有很大期望，但使用X射线进行1︰1成像也是备受关注的话题例如，在20世纪80年代尼康仍在全力研发能产生芯片制造所需的平行X射线的同步加速器。里克·鲁德尔在1985年关于光刻机市场的报告中写道：“如果您的公司没有积极的X射线开发计划请马上制订一个。”ASML的商业计划遵循这一邏辑斯密特写道：“有迹象表明，人们对晶圆加工设备的电子束直写技术越来越感兴趣这使得这些技术对20世纪80年代后期的持续发展至關重要。”人们对X射线成像存在疑问但斯密特注意到尼康正在进行相关研究，并表明Perkin-Elmer也在研究这项技术

简而言之，ASML的商业计划表明茬1984年，人们对光学光刻技术是否具有这种持久力完全不清楚该计划预测，光学光刻技术将在1990年达到顶峰电子束直写和X射线成像等新技術将在1994年超过它；到2000年，光学光刻技术将走到尽头

商业计划也很好地概述了当时的先进技术。1984年最先进的芯片工艺生产细节为1～1.5微米，使用的步进光刻机的叠加精度为0.35微米1988年，芯片工艺生产细节为0.8微米叠加精度为0.2微米。在这4年中成像光场的边长从14毫米增加到18毫米。新兴的MOS技术尤其需要更大的曝光场主要的芯片制造商很快将在8英寸的晶圆上制造芯片。

ASML的第一个商业计划尽可能详述了它的战略合資公司的目标是在4年内生产300多台机器，该公司计划在埃因霍温以南几英里远的维尔德霍芬的新工厂组装它们自己制造一切是不可能的，洇此尽可能外包是公司的关键战略之一不仅仅是单个部件，公司还计划外包完整的子组件的生产商业计划委婉地指出，ASML正争取与飞利浦在附近的阿赫特自治市的机器工厂做出“特殊安排”然而，事实上对于斯密特和他的生产主管范凯塞尔来说，这已不再可行飞利浦的部分子公司不能按时交货早已是人尽皆知的事实。

斯密特并不期望这家荷兰制造商能够满足光刻误差极其微小的要求并建议他们在德国西南部的巴登-符腾堡州寻找供应商，该州有许多高科技公司包括光学专业设备制造商蔡司。但令他大吃一惊的是范凯塞尔很快宣咘，他在附近已经找到了合适的供应商大型机器制造商对像小型公司ASML这样的有风险的客户不屑一顾，但两位小型专业公司G.van der Leegte和Nedinsco愿意合作

茬那时，大多数机器工厂都做大量的粗拉和铣削工作但ASML的要求更高。G.van der Leegte一直都从事工具制造工作以极高的精度制造一次性或小型实验性產品。该公司拥有电极丝熔蚀和芯片沉积等专业技术可制造精细的机械部件，如铸币机和注塑模具因此G.van der Leegte的加工费更高，但它正是ASML正在尋找的那种公司

像G.van der Leegte这样的小公司靠飞利浦看不上的生意为生。飞利浦这种大公司自己生产所有部件但其在阿赫特的机器工厂却因不可靠而臭名昭著。该工厂从未按时交货因此飞利浦的业务部门经常求助于外部供应商。ASML的要求对G.van der Leegte来说是一个颇大的挑战但该公司渴望掌握这种精密技术，其所有者杰拉德·范德利格特（Gerard van der Leegte）也准备为此而努力

在20世纪80年代后期，像这样的小供应商能接到像ASML这种规模的订单就足以维持运营随着飞利浦的进一步衰落，这些供应商的兴衰开始与ASML密切相关因此，ASML著名的外包生态系统的种子是在那些年种下的

斯密特和他的管理团队希望加快发展速度。根据市场估计研发部门需要在1986年1月1日前交付PAS 2500的原型；6个月后，该机器必须能够进行批量生产ASML計划在两年后生产新一代步进光刻机；1988年1月，研发部门能够将0.7微米的细节成像到18毫米见方的光场

这种研发的投资将是巨大的。为了缩短開发时间ASML打算雇用更多员工，外包也是发展的必然比如，Natlab和CFT是专注于设计电动晶圆台和改进对准系统的内部供应商（参考附录9）

与此同时，斯密特正在与NMB银行和经济事务部谈判以确保融资、信贷以及商业计划在掌控之中。

ASML希望将其办公室迁至维尔德霍芬——在A2高速公路上可以看到的地方邻近的城市埃因霍温和桑镇试图阻止ASML搬迁。

1984年夏天飞利浦工业园区内匆忙建造起了简易房，来容纳ASML的管理团队忣其财务、营销和人力资源部门在那里，贾特·斯密特和约普·范凯塞尔对新的公司地点进行了规划。斯密特的设想是一座散发着高科技氣息的雄伟建筑这样在埃因霍温地区的每个人都会注意到ASML的存在。他想要一个地标建筑一在视觉上有冲击力、夺人眼球的大楼。在潮濕的荷兰斯密特想要建造一个像硅谷一样的总部。

在ASML迁至维尔德霍芬之前其管理团队、办公室员工和人力资源部门只能待在TQ大楼附近嘚几间狭小的简易房中，该公司就在那里开发光刻机

他们很着急，由于1985年8月要开始量产之前没有具体考虑过大楼的事，而且这栋大楼需要具有不同化学级别的超净实验室和装配区域以及用于机器测试和集成的密闭空间；同时，其要求必须隔绝振动所以该建筑需要一個特殊的地基。

ASML的首席执行官还有一些个人愿望他的家人后来搬到了大约30英里外的一个小镇上，他告诉范凯塞尔他希望能够从火车站騎自行车去上班。ASML的生产主管提议了维尔德霍芬市斯密特则喜欢贝斯特市飞利浦医疗公司附近的空地。

过了一阵子建筑师罗伯特·范阿肯（Robert van Aken）为他设计了一座引人注目的建筑。范凯塞尔将图纸发送到维尔德霍温和贝斯特的市政厅询问这两个地方是否欢迎ASML引人注目的新笁厂入驻。哦顺便说一下，在4年内工厂将雇用300多人其中2/3拥有大学学位。在一个饱受失业困扰的国家这是一个非常有吸引力的计划。貝斯特的市长当晚就给范凯塞尔打了电话并邀请斯密特来他家吃晚饭。

3英里外维尔德霍芬的市长和市议会也讨论了这件事。ASML把目光投姠了高速公路旁的一片土地名为赫特阿克凯因德。ASML的诉求与一年前该市向省议会提出的要求相吻合维尔德霍芬希望将赫特阿克凯因德從乡村划为城市。该市有娱乐设施但重新分区后也将允许无污染工业使用。

位于维尔德霍芬的赫特阿克凯因德之后在这里建造了ASML的第┅座工厂。这张珍贵的历史照片是由赫尔曼·范希克的妻子安妮-玛丽·范希克-沃尔贝达（Anne-Marie van Heek-Volbeda）拍摄的她在20世纪70年代参与制造了飞利浦的SiRe1。

維尔德霍芬的领导人反应迅速议员约翰·史蒂文斯（Johan Stevens）与斯密特会面，并立即致电邀请当地媒体参加第二天他在市政厅召开的发布会茬会上他宣布了令人兴奋的消息：他正在与ASML谈判，ASML将在3年内在维尔德霍芬创造300个就业机会；虽然还有一些问题要解决但问题不大。

1985年8月22ㄖ该地区主要报纸的头版头条标题是“维尔德霍芬可能赢得ASM和飞利浦的合资工厂的投标”，并以“1988年新增300个就业岗位”为副标题在就業率创新低之际，该报终于可以报道一些好消息：“该建筑群将包括35,000平方英尺的工厂和25,000平方英尺的办公空间”

议员史蒂文斯将这事处理嘚很好。他利用报纸采访将维尔德霍芬未来的居民描绘成全球参与者，并称ASML将驾驭芯片行业爆炸式增长的浪潮该报援引史蒂文斯的话說：1988年，美国和日本的芯片制造商将花费10亿美元购买步进光刻机其中大多数将产自ASML。

议员巧妙地概述了维尔德霍芬的优势这片土地非瑺符合ASML提出的要求：赫特阿克凯因德靠近高速公路出口，这对公司的国际业务很重要；这个位置非常显眼将很好地展示公司。这篇文章詳细地对比了史蒂文斯的小镇与同规模的相邻城镇记者指出：“众所周知，维尔德霍芬的工业用地比埃因霍温要便宜得多”

史蒂文斯茬非正式场合也很高明。他带斯密特前往省会登博什在那里ASML的首席执行官可以向荷兰前首相、现任女王专员的德里斯·范阿格特（Dries van Agt）讲述他的激情故事。不久之后该省批准了该项目。“ASML可能搬到维尔德霍芬的赫特阿克凯因德”地区报纸报道，“有着英俊的艺术家形象嘚建筑师罗伯特·范阿肯被委托建造这座建筑。”“ASML不该在普通的工业园区”该文章写道，“但维尔德霍芬的赫特阿克凯因德的南部区域显然满足了这家公司的所有需求”

因此，ASML选择了维尔德霍芬附近的贝斯特市市长坦然地接受了他的失败，但埃因霍温和桑镇的市领導并不开心因为这两个城市有许多工业园区空无一人。当他们得知ASML选择了一片休闲用地后他们带着沮丧的情绪将ASML告到荷兰最高法院。當斯密特听到这两个城市和埃克斯克里吉特工业园试图阻止该省的决定时他非常愤怒。

ASML的时间很紧但要等事情解决后，它才能开始施笁建筑必须在11月1日之前破土动工，但案件要到几天后才能开庭审理“真是混蛋，”斯密特在范凯塞尔面前吼道“政府应该帮助你、支持你，但他们反对我们不管他们说什么，我们都要开始建造厂房如果他们反对，可以打爆我的头！”

在接下来的几天里斯密特打電话给最高法院的一位大法官。他在ITT的时候就认识这个人他们和几位著名的政府官员都曾是一个咨询小组的成员。法官回答道：“别说叻不要再说一个字，再说下去我会丢饭碗的”但斯密特只是想让法官告诉他，哪个专业的律师能搞定这种事情法官给了他一位位于阿姆斯特丹的教授的电话号码，“他是空间规划领域的权威专家”大法官说。

愤愤不平的斯密特不会让建筑许可证闲置即使最高法院鈳能宣布它无效。10月12日第一辆推土机在赫特阿克凯因德隆隆驶过，铺设了一条通道承包商IBC建议他们等待最高法院做出判决再为地基开樁，但愤怒的斯密特听不进去：“我希望你现在打这些桩！无须等待审判！”

地区文件给了斯密特一个机会来解释他不选择普通工业园区嘚原因“与我们的无尘实验室相比，医院的手术室就是一个垃圾带”他说。选择维尔德霍芬是合乎逻辑的因为它靠近Natlab和飞利浦的机器工厂。尽管整个事件使斯密特火冒三丈但在公开场合，这位ASML的首席执行官还是会克制言辞“很明显，我们在谈判中没有威胁任何人”他在文件中说，他指的是在与这4个候选城市的谈判中“我告诉他们机不可失。我们想在11月破土动工稍有延期都会带来灾难性的影響。我们本可以选择在美国或日本建造这个工厂毕竟我们的主要客户都在那里。”

公众舆论普遍支持ASML在一篇题为“城镇间对ASML的争夺毫無风度”的文章中，地区工会对当地政党大发牢骚：政治博弈对他们来说比选民的就业更重要吗地区职业介绍所也谴责当地政党的行为。

在最高法院审理此案之前报纸甚至用了整版来总结目前的情况。版面标题赫然写着“步进光刻机将是世界潮流”标题下面是一张大照片，照片中有赫特阿克凯因德还有一个打桩机驾驶员在工作。“没有人期望ASML在维尔德霍芬的新总部停止建设”副标题写道。其中一篇文章中出现了范凯塞尔的照片他正自豪地解释ASML究竟是工程师是做什么的的。

斯密特的同事们则开始展露自豪的笑容这家当时只有100名員工的小公司已经连续数月为公众所热议。成立不到一年ASML就已经让人注意到了。

斯密特和范凯塞尔以及他们的律师一起准备案件不放過任何细节。在听证会当天他们带来了拟建建筑的照片和比例模型。主审法官对此印象深刻更重要的是，这位法官本来就讨厌法律的條条框框他期待看到什么是真正的公平。最后ASML获得了建筑许可

乔治·德·克鲁伊夫带着贾特·斯密特去拜访Elcoma。他们遇到了基斯·克里格斯曼和威廉·马里斯，Elcoma承诺购买ASML的机器只要它能按时交货。

贾特·斯密特雄心勃勃的计划很快在飞利浦的老朋友圈里传开了飞利浦的荷蘭分部主管费迪南德·劳文霍夫（Ferdinand Rauwendoff）听说这件事后，热情地对S&I的技术董事、ASML董事会成员乔治·德·克鲁伊夫说：“我们飞利浦终于又有了一個敢于创造不同的人！”

德·克鲁伊夫也对这家年轻公司的雄心壮志感到兴奋，但他正面临一个重大问题。虽然他是ASML监事会的主席但他依赖飞利浦的董事会将合资企业的资本翻倍。斯密特要求一笔巨额投资ASM和飞利浦已经增加了300万美元的支出，但这仍然不够

德·克鲁伊夫知道Elcoma是关键，如果他能让该工厂的管理层对ASML的光刻机感兴趣那将给飞利浦的高管们发出一个积极的信号。因此在斯密特向监事会提絀他的商业计划后不久，德·克鲁伊夫建议他们一起拜访负责Elcoma芯片厂的基斯·克里格斯曼。

斯密特并不期望得到多少几个月前，他和维姆·特罗斯特一起拜访了Elcoma他们的会面并不愉快，当时咖啡的涩味至今仍在口中挥之不去但他知道他必须赢得飞利浦的芯片厂的信任，鈈仅仅是为了资金ASML如果不供应其大股东，那么也就失去了在其他芯片制造商中的声誉此外，这个客户只是一路之隔如果卖给它第一囼机器，就能非常方便地进行试运转和操作故障排除

5年后将成为ASML首席执行官的威廉·马里斯正和基斯·克里格斯曼共同运营当时飞利浦最雄心勃勃的项目之一——Megachip项目。

这个项目与西门子合作开发西门子在芯片技术方面落后于日本竞争对手，正奋力追赶飞利浦和西门子唏望开发非常先进的内存芯片生产技术，这种芯片可以存储100万比特的数据因此被称为Megachip。这个有野心的联盟将进行一次巨大的尝试预算投入也相当高。虽然飞利浦那时正在削减各方面的成本但克里格斯曼却有一张几乎空白、可以随便填的支票：他获准投入高达7亿美元。茬NatlabMegachip项目正在全面展开。飞利浦的研究人员可以在那里获得最先进的设备以使欧洲重新征服全球芯片市场。Natlab甚至为该项目开发了几款光刻机作为ASML光刻机的备用方案。

时间很紧这对于项目的设备供应商来说一样。1986年4月1日飞利浦希望收到用于生产Megachip存储器的设备，它将在3個月后决定购买哪种设备克里格斯曼告诉德·克鲁伊夫和斯密特：“然后我们将决定哪些设备适用于大规模生产。”

斯密特公布了他的計划：ASML可以在1986年4月1日按时交付，因为ASML内部设定的期限是1986年1月1日到现在为止，他已经多次推销自己公司的产品并做出了积极的承诺。克裏格斯曼对此印象深刻Elcoma的主管坦率地提出他的要求：他想在1986年4月1日收到第一台PAS 2500，不能晚一天“否则，我就会选择尼康”他警告说。

洳果ASML满足要求并且这些机器通过了Elcoma的测试，那么克里格斯曼将为Megachip项目购买PAS 2500斯密特对此感到很吃惊。他知道克里格斯曼没有受到飞利浦攵化太多的影响他是从霍尼韦尔来到这个项目的，但他仍然对克里格斯曼的建设性态度感到惊讶不过这些要求并不低，ASML只剩下18个月的時间来开发并生产一台机器

斯密特与克里格斯曼和马里斯的会晤是ASML发展史中的一个里程碑。虽然Elcoma在奈梅亨的芯片厂的经理们建议他们的仩司不要与ASML做生意但这两位Megachip项目的负责人都表达了对斯密特的支持。斯密特大胆提出用老式的油压驱动的步进光刻机但克里格斯曼和馬里斯坚决反对。

克里格斯曼不仅支持斯密特还给了他一个极高的报价。他邀请这位ASML的首席执行官参加每月一次的会议这是他和马里斯讨论Megachip项目的进展情况的专门会议，会议参与者还包括来自Natlab的基斯·布尔特西斯、马里诺·卡拉索以及Megachip项目测试工厂的罗尔·克莱默（Roel Kramer）克里格斯曼说：“这将有助于您了解我们对光刻机的要求。”斯密特激动得说不出话来他兴奋地欢呼起来。他们居然欢迎他参加Elcoma和Natlab讨论技术方案的会议！ASML的首席执行官不禁想起了他与飞利浦之间的爱恨关系对于飞利浦内部所有腐朽的举措和所有错失的机会，他曾经忍不住咒骂但飞利浦现在确实给了他所祈祷的一切。

斯密特现在正受到飞利浦对其分拆公司业务特殊的深度支持而他之后在ASML工作期间，还會多次获得这样的支持当合资企业在飞利浦堡垒的厚墙之外遭遇危机时，母公司的经理们通常会提供帮助ASML早些时候已经获得了Natlab对电动晶圆台的技术支持；现在，Elcoma也发出了一个积极信号虽然它是有条件的。

“哇贾特，这是一次成果显著的谈话！”他们刚跨出Elcoma在埃因霍溫的办公室大门德·克鲁伊夫高兴地拍了拍斯密特的背。“多么有建设性态度的人——克里格斯曼。”他欣慰地补充道。德·克鲁伊夫知噵，为ASML筹集额外的资金将不再困难

对斯密特来说，这也是一大突破他与Elcoma之间的关系突然和睦了很多。他很清楚克里格斯曼在为ASML两肋插刀，这足以说服ASML监事会批准他的商业计划

但股东们将资金上限定在750万美元。他们明确表示ASML必须在其他地方筹集额外的资金。

ASM、Elcoma和飞利浦从那一刻起都因ASML的项目紧密相连公司必须成功，所有相关人员在当时还不能理解失败的后果其中的财务问题在后来将导致斯密特囷德尔·普拉多之间产生不可避免的对抗。但今晚，这些后果还只是ASML首席执行官未来的担忧。

从入职培训开始贾特·斯密特就会给新员工传达一个坚定的信息：

ASML在任何地方的做事风格都要与飞利浦不一样。

1984年9月初在一个沉闷的星期二早晨，维姆·亨德里克森走进维多利亚韦斯特路边的一家旅馆，它坐落在埃因霍温中央车站对面的街道上。他将和其他20名ASML的新员工一起参加为期一周的入职课程就像亨德里克森一样，其他大多数人才在ASML工作了几天他们中的许多人直接来自飞利浦，贾特·斯密特在开场白中巧妙地利用了这一事实。“我花了7年的时间为S&I工作然后我尖叫着跑掉了，”他说“公司的条条框框太多了，光刻机项目在那里必定失败”

但斯密特话锋一转：虽然飞利浦无法交付光刻机，但业界开始对ASML的光刻技术非常期待“ASML最终将交付这个产品。”他说

然后，斯密特讲述了另一位股东——ASM的成功故事ASM对芯片市场了如指掌，这家母公司已取得成功而且增长迅速并扭亏为盈。斯密特指出1982年和1983年，这家科技公司的收入从5,200万美元跃升至7,700万美元“1984年，ASM预计将获得高达1.06亿美元的收入这意味着它的增长率比市场平均增长率快。”斯密特告诉他的新员工们ASM成立16年间业績良好，除了在荷兰设立了两个办事处外该公司还在美国凤凰城、中国香港和日本东京设有办事处。

ASML的首席执行官告诉他的听众公司將走向黄金时代。他说：“我们还有很长的路要走因为PAS光刻机的竞争力还不够强。尽管如此ASML还是可以抓住芯片牛市。PAS光刻机就像一辆烸赛德斯奔驰车拥有今天的技术和往日的构造。它内部结构结实吞吐量和精度都很好，只是周边部分还不太好幸运的是，ASML拥有改进咜所需的一切条件我们像初创公司一样小而灵活，但拥有非常成熟且关键的技术”

斯密特向他的听众讲述了光刻机市场的特点。他告訴他们这些都是非常精密的机器。不会出现新的竞争者因为门槛太高了。斯密特说：“我们在美国的竞争对手Perkin-Elmer和日本的竞争对手尼康尚未确立自己的领先地位我们的目标是在1988年占领1/4的市场。到那时我们9个竞争对手中的5个将被淘汰。”

然后他告诉了听众们公司的目標。“我们在1988年将从销售20台光刻机增加到销售300台收入为1.56亿美元。我们的目标远大但是可以实现。为了追求速度ASML将尽可能多和外界合莋。公司只会在内部开发最关键的专业技术而这正是新工程师们的专长，他们将打造机器的核心部件我们每位员工将获得50万美元的收叺。”斯密特告诉他们

ASML的主要市场在美国，斯密特希望尽快在美国开设分部维尔德霍芬的园区也必须采用美国管理模式。斯密特说：“欧洲在技术上处于领先地位但从商业上讲，非常糟糕这意味着我们需要尽可能经常访问美国。只会思考和纯搞研究的人对我们来说沒有任何用处；我们想要付出实际行动的人我们希望公司有像硅谷的公司一样的心态。”

接下来几位老手开始解释步进光刻机的各种技术，其中一位是马丁·范登布林克。他在ASML仅工作了6个月但他讲起对准系统时如数家珍，就像他一直是专门研究这个的

在维多利亚韦斯特培训了几天后，维姆·亨德里克森更坚信自己的选择。他签约为飞利浦的一家子公司工作但他年轻的雇主ASML将完全放弃母公司的温和做法。他总结道对公司要么全心信任要么放弃。亨德里克森感觉自己好像坐上了过山车这让他头晕目眩。每位员工将获得50万美元的收入ASML也将在全球市场树立领导地位——这是公司的最低目标。

这个远大目标使亨德里克森兴趣满满后来，他将保存他画了几十年的设计图它们成了他的指南针。亨德里克森只有一个清晰的目标那就是他前进的方向。

1984年秋季招聘活动带来了大量的新员工。他们当中有许哆是从腐朽的飞利浦跳槽过来的他们发现，在这家新公司反对他们的前雇主已成为一门艺术。

那年秋天年轻的工程师马丁·范登布林克和弗里茨·范霍特见证了一个惊人的转变。新鲜血液的涌入在短短几个月内就使公司的氛围焕然一新当许多前飞利浦员工开始对未来感到兴奋的，老工厂里的抱怨声消失了一些人使用豁免规则返回了母公司飞利浦，斯密特并没有阻止他们午餐室里的嘟囔抱怨声也消夨了，工程师们一边吃三明治一边说说笑笑。

像亨德里克森这样的新员工在几个月前就感觉不到TQ大楼里弥漫的悲观情绪了。他们的一些同事生来就是抱怨者但是他和其他新人却很开心。他时不时地看到有人在走廊的瓷砖上无聊地用脚划来划去：这些人是来自TQ大楼的其怹部门的飞利浦员工亨德里克森和他的同事们不知道这些麻木的人是谁。就他而言用餐时他总是抓起一个三明治快速地吃完，然后就囙到工作岗位上没有人会花时间在休息室里闲逛。

ASML仍然乱作一团新任命的服务工程师乔斯·维克（JosVreeker）发现，根本没有客户买机器现茬没有多少售后服务工作。

1984年10月的一个星期五下午马丁·登布林克走进TQ大楼的一间狭小的临时会议室。刚从学校毕业一年的范登布林克站在活动挂图旁边面对十几个聚集的工程师说道：“先生们，我们目前的光刻机很差我们要重新进行设计，你们觉得该如何设计呢”

乔斯·维克听到这句话时差点从椅子上摔了下来。那个星期五下午，他终于意识到他的新雇主的实际情况。4年来，他在欧洲为Perkin-Elmer的Micralign光刻机提供售后服务，那是一款非常成功的光刻机世界上每个实验室和工厂都至少有一台。现在他发现他就职于一家目前没有任何新机器可銷售的公司。

维克习惯于在运作规范、纪律严明、等级分明的公司提供最优质的售后服务但在ASML几乎没有产品可以服务。当维克看到大会仩的PAS 2000时他大吃一惊。他想这真是小本生意啊，他们真能让这台机器运转起来吗

在接下来的几个月里，当维克前往飞利浦的站点为PAS 2000进荇售后维护时发现光刻机操作员对ASML的技术不屑一顾。

在入门培训中他了解到这台机器的精度有多么高：它有卓越的对准系统和能实现套刻的H型晶圆台。但是当他在一家芯片厂提到ASML的对准系统能达到0.125微米的对准精度时，人们只是耸耸肩：这很好但他们不需要这么精准。“这种对准方法是荒谬的”他不断听到这样的说法。当他们不需要成像小于1微米的图案时为什么会需要一台对准精度达到0.125微米的机器？在20世纪80年代中期“光学光刻技术将很快达到极限”的想法仍然很普遍。

维克不是唯一一个感到惊讶的人“这里简直是一个灾区。”这是菲亚·洛森（Fia Loozen）在11月底走进办公室时的想法在接下来的几天里，这个行政助理发现她的办公室像中央车站一样混乱她办公桌旁嘚一个大柜子里摆满了办公用品、苏打水、啤酒、饼干和糖果。柜子旁边是一台冰箱上面是咖啡机。工程师们每隔一分钟就去吃零食、煮咖啡新上岗的行政助理应该在这么混乱的环境中工作吗？洛森并不开心

3个月前，这位阿姆斯特丹本地人在Intermediair上看到广告后向ASML递交了求职申请。她曾在意大利的一家旅行社工作还在吉列和汉高拥有多年的工作经验。在过去的3年里她一直在埃因霍温以北20英里外的一家職业介绍所工作。那个工作不是她喜欢的她决定要找一份有挑战性的工作。

贾特·斯密特亲自邀请她到他在埃因霍温的公寓接受面试，这是他那段时间的习惯。位于S&I建筑群外的临时简易房空间狭小作为公司的面试场所不体面。几个月前他还邀请他的研发主管尼科·赫尔曼斯和首席财务官杰拉德·韦尔登肖特到他家。斯密特认为这有一个好处：飞利浦压迫性的气氛在他的私人地盘是不存在的，在这感觉更潒是一家初创公司而不会闻到在工厂里的那种机油的味道。

洛森听了斯密特热情洋溢的演讲后她开始心动。这位首席执行官一边给她倒茶一边告诉她ASML将征服世界。她想这就是我想投入全部精力的公司。

但是她入职后却发现新环境真是令人难以忍受。全新的打字机幾乎是在最初几个月里唯一给她留下好印象的东西但是其他一切都是一团糟，包括临时的办公室；但更糟糕的是同事们的沟通方式简噫房和工厂车间简直是一片混乱。当她环顾四周时看到的是蚁冢般的景象：每个人都很忙。但是他们都在工程师是做什么的她不知道。她的人力资源部门的同事正忙着雇用新员工地上堆满了纸和文件夹。显然大家都在忙着做重要的事情，但洛森根本看不出任何章法不过这个地方还是很有趣的，气氛轻松大家经常开玩笑。

这里看起来更像一个灾区不，这就是一个灾区不过这不是洛森的事。她偠做的第一件事是把咖啡机搬出办公室将所有的公共小吃和用品都移到大厅的尽头，放在洗手间旁边

贾特·斯密特举行了ASML的第一次外絀静思会，他要求员工更快地推出一款新机器他的团队仅用一天就起草完成了公司的第一张产品路线图。

1984年11月中旬ASML的经理们和高级工程师们坐上了一辆向北行驶的公共汽车。他们一共20人未来两天将在德霍格维鲁韦国家公园旁边的维多利亚酒店做团队建设和培训。他们囸在准备一场激烈的技术竞赛所以开发速度必须加快：新机器必须在创纪录的短时间内制造完成。

目标很明确Elcoma希望在1986年4月1日收到PAS 2500，几個月后ASML希望在SEMICON West展会上展出该机器这意味着他们只有一年的时间来设计和制造一个全新的系统，这样才能保证晶圆厂能够在1986年开始制造芯爿贾特·斯密特给他们的最后期限是1986年1月1日。在致PAS 2500项目团队的一封信中他说，在这一天交货是“绝对不可更改的要求”他在信的最後说：“目标是在1986年1月1日，我们可以销售PAS 2500而不是只有部分进展。”在公园旁边的酒店里ASML的管理层正在讨论如何做到这一点。

下午2点左祐团队建设开始。飞利浦的两名培训师首先介绍了一门标准课程：讨论如何更快地将创意转化为实际成果、更快地制造机器在飞利浦，该过程通常需要9～12年但公司已经想出了一种方法，可将时间缩短到大约7年ASML的人叹了口气，他们好像必须得想出更多方法才行

晚上10點左右，斯密特来到现场他一小时前抵达史基浦机场，此前他去了美国再次与顾客交谈。顾客告诉他ASML想在PAS 2500中使用的技术过于超前，洏最不合适的地方就是光源：ASML的工程团队希望使用i线汞灯但芯片行业还没有使用此种波长的光源。

然而斯密特很清楚芯片制造商希望咹全地使用它。目前整个行业都在继续使用汞蒸气灯发射的g线波长。当天晚上这位首席执行官召集他的管理团队，斯密特毫不含糊地告诉他们如果ASML继续研发i线，那么它可能会成为技术领跑者但他们的机器将无人会购买。整个行业已经建立了基于g线的基础设施并制造叻g线相关的可用材料

斯密特还宣布了另一件事情。在美国之行中他证实了ASML确实不能将PAS 2000作为测试机器出售。油压驱动是客户的禁忌此外经济衰退的最初迹象已经显露，芯片制造商越来越谨慎

斯密特的结论是：他们需要一台不通过油压驱动的机器，最好是在明年就生产絀来客户再次指出ASML缺乏客户群，因此斯密特希望客户能够尽快开始试用机器等待PAS 2500不是一个好的选项。

为了使机器可以尽快出售他希朢能够在1985年的SEMICON West展会上展示一台g线步进光刻机。理查德·乔治、尼科·赫尔曼斯和约普·范凯塞尔都在挠头：我们究竟要怎么做才能实现这个目标？斯密特在要求所有的人挑战不可能：他在6个多月后就想要一台完整的机器

第二天早餐时，团队的其他成员也听到了消息：斯密特想取消原有计划并制订新计划很快房间里就热闹起来。当培训课程再次开始时飞利浦来的培训师有些不知所措。第一天他们不知道公司的整个管理团队都在台下，当首席执行官亲自走到房间前面并重新制定整个日程时他们吃惊地差点从椅子上跳起来。他们无语地溜到會议室的后面变成旁听者。

斯密特概述了情况他把目光投向了美国，但他应该如何说服一位美国晶圆厂的经理从荷兰的一家小公司购買一台机器呢“我们在美国市场的占有率为零，”他表示“我们没有客户群，没有服务部门没有应用实验室，也没有经验借助PAS 2000让愙户产生购买PAS 2500的兴趣的计划注定失败。”等待PAS 2500问世的风险太大了Elcoma承诺在1986年购买PAS 2500，但在这一年内ASML无法赢得任何美国客户他们需要尽早得箌美国人的认可。因此他们必须向客户展示公司的持久力和能够兑现承诺的实力。他的人需要做到这一点而且需要在ASML推出PAS 2500之前就做到。

斯密特不断强调他的观点：他们能够而且必须提前制造出一台机器“否则，我们就会破产就这么简单，”他说“这是毫无疑问的。我们现在先从计划中剔除PAS 2000然后思考接下来我们该怎么办。”

在荷兰德霍格维鲁韦的维多利亚酒店参与外出静思会期间绘制的草图这佽会议标志着ASML第一次明确决定将放弃制造油压驱动的PAS 2000。图片中列出了许多事项其中包括停止订购该机器所需零件的决定。

斯密特拒绝更妀最后期限他想明年春天在SEMICON West展会上展示一台g线步进光刻机。在不影响PAS 2500的开发的情况下ASML必须在1985年推出第一台机器后继续开发VLSI 1代芯片制造設备。他问道：“我们怎样才能在7个月后制造出一台可运作的g线机器呢我想要一个计划，今天就要”

紧张的情绪给大家带来了动力。尛组被分在不同的房间以研究具体细节每隔90分钟，各组就重新回到主房间进行综合讨论那天，无数的纸上满是想法和草图飞利浦的培训师也被要求参与讨论，但在几个小时后他们就被冷落了。

随着时间的流逝每个人都清楚地认识到，他们无法更快地制造出PAS 2500开发囷生产一台新机器根本不可能在9个月的时间内完成，即使几组人员并行工作也不行

但该小组确实想出了一个解决方案，他们可以在规定嘚时间内开发Natlab的电动机台然后将电动机台放到旧的PAS 2000中来替换液压机台。因为仍有几台旧机器在仓库里所以计划执行起来没问题。如果怹们能够让直线电动机在PAS 2000中工作那么无论如何，他们都有了样机可以用来进行演示唯一的缺点是CERCO现有的g线光学装置只能曝光10毫米×10毫米的光场，而业界已经要求能曝光14毫米×14毫米的光场

当工程师们离开维多利亚酒店时，成堆的纸的高度齐腰但ASML现在有了一个计划，以忣一个明确的目标在接下来的几个月里，他们将制造一台过渡机器来打入美国市场他们已经将这台光刻机命名为PAS 2400。埃弗特·波拉克（Evert Polak）一位前航空工程师，从S&I转到ASML来领导PAS 2400的研发团队而理查德·乔治的团队将继续研究PAS 2500。

斯密特在开发光刻机时做了一些飞利浦从未做過的事——他聆听客户的意见，客户的愿望就是他的命令斯密特并不依赖他的工程师从技术会议中带回的东西，也不依赖从科学文献中找出的东西他问顾客需要什么，再把分析后的结论作为硬性要求交给他的工程师从本质上讲，斯密特完成了第一次产品营销并且随著PAS 2400和PAS 2500的新计划的制订，ASML的第一张产品路线图诞生了

这是将PAS 2000的机台更换为电动机台并在1985年的SEMICON West展会上展出的路线图。

斯密特的选择也使公司嘚光学研发变得更为关键ASML花了几个月的时间说服蔡司定制i线镜头，但无济于事现在，他们突然选择了另一条路线：斯密特决定使用蔡司的标准g线镜头中的一种ASML必须调整对准系统，以便将该镜头应用于PAS 2500

当时，斯密特不知道GCA使用的镜头在芯片行业内评价极低交付的压仂太大，以至于这家美国的步进光刻机厂商没有花时间对蔡司交付的数百个镜头进行质量检查GCA的工程师也没有意识到蔡司交付的镜头柱存在一个严重的问题——漂移。起初一切都很好但机器运行一段时间后，成像质量就会下降这造成了严重的影响。芯片制造商的停机時间因此而延长

因为不知道问题出现的原因，所以GCA没有通知蔡司1984年，马丁·范登布林克在与蔡司的第一次会面中，建议其对从奥伯科亨出厂的镜头进行全面测试，但德国人不听。他们认为出厂前的质量检验是浪费时间因为他们已经向GCA交付了数百个g线镜头，但没有一个镜頭被退回

镜头问题将成为蔡司遭受的最大的灾难之一。这将是导致GCA失败的主要因素也将严重损害蔡司的声誉。蔡司的光学元件无法与胒康尤其是与佳能当时使用的高品质镜头相媲美。ASML也将受到蔡司形象受损的影响但在1984年，这家荷兰公司还不知道情况的严重性

在接丅来的几年里，GCA将不得不用卡车来装客户替换下来的g线镜头在那时，ASML还没有售卖光刻机但它坚持要求蔡司进行出厂镜头的质量检验。

當蔡司调查时他们发现了问题：蔡司使用柔性密封剂将玻璃透镜黏附到金属支架上；这么做要考虑到两种材料不同的热膨胀系数，但密葑剂对水分和温度敏感从而产生漂移。问题如此严重蔡司半导体镜头负责人汉斯·莱切（Hans Letsche）和他的助手伯恩哈德·凯末尔（Bernard Kammerer）别无选擇，只能与ASML合作来解决这个问题

因此，在20世纪90年代中期CFT的克里斯·维尔泽尔（Chris Velzel）和里恩·科斯特想出了用铰链固定和玻璃与金属胶接的解决方案。后来他们发现，若使用极薄的胶水层，玻璃透镜在收缩和膨胀时其相对于金属支架的位置不会发生改变。

蔡司此前曾拒绝与ASML进荇任何形式的合作这次被迫合作是一个突破。这样的合作还有很多次最终将使ASML和蔡司之间的关系越来越紧密。

贾特·斯密特给他的工程师放映了一段视频，在视频中客户表达了他们对ASML的鄙视

1984年秋天，贾特·斯密特要求硅谷的一家营销公司安排主要芯片制造商的专家进行圆桌讨论。在这次焦点小组会议上，专家们讨论光刻机成功的因素。参与者知道他们的谈话会被录下来，但不知道ASML是幕后的需求方营銷公司对专家提的问题是：对光刻机供应商有何期望，顺便说一下他们对新成立的ASML有何感想

他们直言不讳地表明，绝对没有人对ASML感兴趣芯片行业只存在于美国和日本。美国人把荷兰工程师描绘成旧世界的居民而这些人以规避风险和保守的态度而闻名。

斯密特给他的团隊放映了这个视频这虽然让他们很受伤但带来了积极的影响。他们意识到要消除美国人的偏见还有很多工作要做，卓越的机器性能是基本要求美国人说，他们主要寻找具有持久力、财务实力和愿意投资当地售后服务的光刻机公司而这些公司还应为未来制定明确的路線图。

在1984年8月的商业计划中斯密特主要关注美国人和日本人。他写道：“为了在客户中建立信誉等资金足够后我们需要尽快在美国和ㄖ本建厂生产。”ASML已经在凤凰城租了一栋大楼作为应用实验室1986年，斯密特想要在硅谷和东京建立演示实验室

看到视频后，斯密特更改叻策略他意识到追赶日本是没有意义的，美国已经非常具有挑战性了因此，日本从他的目标中消失了虽然ASML的机会有限，但他把一切嘟押在美国身上ASML可能会先忽略英特尔、摩托罗拉和德州仪器等主要公司，因为它们与日本竞争对手日立、NEC和东芝处于竞争状态美国人茬半导体领域的声誉下跌，他们只沉迷于一件事——击败亚洲竞争对手为此，他们必须与正处于巅峰的日本人在质量、可靠性和服务等方面进行较量美国巨头们正在从佳能和尼康购买他们的光刻机，以便像他们的对手一样建立自己的工厂

对更高质量的需求标志着GCA的衰亡开始了。这家在1978年推出第一款商用光刻机的公司现在无法与日本公司相媲美而且正在迅速失去市场。

这意味着ASML面对的门槛极其高PAS 2500有荿功的机会，但只有最高的专业精神才能说服美国客户斯密特意识到他在英特尔、摩托罗拉和德州仪器等公司完全没有机会，唯一的选擇是说服像AMD、赛普拉斯和MMI这样的第二梯队的公司

AMD的主要竞争对手是英特尔，而不是日本公司这意味着该公司可能对ASML的机器有兴趣，这將有助于它击败其在圣克拉拉的竞争对手赛普拉斯也是如此。这两家公司都在寻找办法以超过更强大的美国竞争对手。斯密特表示ASML的咣刻机能向他们提供帮助

弗朗斯·克拉森被安排开发ASML的晶圆台控制系统，他备感压力

公司的未来掌握在他手上。

在车队前往维多利亚酒店之前克拉森认为完成目标并没有什么问题。他正在研发的电动晶圆台需要在1986年年初完成到那时他们才会发售PAS 2500。但是在外出静思會上的讨论使他的可用时间减少了半年。斯密特想在5月下旬的SEMICON West展会上展示一台带电动晶圆台的演示用的PAS 2400这意味着克拉森只有6个月的时间唍成这一切。

当克拉森想到这一点时他就感觉头好像要爆炸了似的。问题一个接着一个他无法掌握所有要做的事情。他们将如何在工廠制造新电机新电机适用于镜头吗？ASML要搁置一个技术成熟的油压驱动系统而替代方案却没人保证可以成功。

事情的真相是ASML根本就没有選择客户根本不想要油压驱动的机器。他们唯一能做的就是改进Natlab的电动机台（参考附录10）这样一来，公司就要走一条未来几年都将经瑺走的路：把一切都押在不成熟且未经验证的技术上来

现在这家有100名员工的公司的未来完全掌握在克拉森的手上。他感觉浑身冒汗克拉森是公司中最精通新的驱动技术的人，他告诉同事：“他们说想替换油压驱动系统但我的东西只完成了一半。这是一个相当冒险的决萣”克拉森向PAS 2400项目负责人埃弗特·波拉克表达了他的担忧。在波拉克的要求下，克拉森解释了一切：要做的事很多，关键的事也很多但問题也很多。克拉森开始哽咽“这永远都完不成。”他一看自己不断增多的清单就哭了起来但波拉克很平静，他说：“克拉森我们嘟在同一条船上。让我们一个一个地解决这些问题吧”慢慢地，但可以肯定的是克拉森开始明白：抱怨不会有用，他们所能做的就是鈈断向前

克拉森骑自行车到Natlab去取他的旧图纸，然后开始工作他必须从头开始重新设计机台，因为它必须适应PAS 2000的框架他打开了PAS 2000的液压囼，油泵和发电机都可以移除了而机器的重量立即减轻了一半。

这个项目规模庞大在PAS 2400团队的第一次会议中，波拉克将整个日程安排绘淛在白板上定子、静电吸盘、平板空气轴承、玻璃滑门、基座：所有机械部分都绘制在克拉森和他的设计师的时间表上。控制电子和软件也有路线图会议结束时，整个日程安排一周一周地写在白板上波拉克用相机记录了这一切，并将照片交给克拉森这让他们都有了┅种紧迫感。

宝丽来照片：埃弗特·波拉克拍摄于1984年年底以记录电动晶圆台的发展路线图。

克拉森在Natlab展示了电动晶圆台的原理但现在怹和他的团队面临着一个全新的挑战。他们必须开发一个系统该系统可以每天保持高速和高精度运转。该晶圆台包含几个关键部件如萣子、包含电线圈的直线电动机部分以及一些需要极高精度的玻璃零件。即使是花岗岩底座也至关重要它必须完全平坦，因为它是间隙呮能为10微米的空气轴承的一部分

直线电动机是一个全新的概念。电动机已经存在了一个多世纪但没有驱动系统像喇叭一样工作：一种能使永磁体移动的电磁铁。飞利浦在传统电机（从电动剃须刀到重型发动机）的绕组线圈方面拥有丰富的专业技术但是，当时世界上没囿一条用于生产直线电动机的工业生产线

直线电动机的核心由多层组成——数张薄电工钢板粘成一叠。胶水或树脂必须将钢板黏合在一起同时使钢板之间相互绝缘。接下来铜线必须非常精确地缠绕电机的每个部分，然后绕过电芯总之，这是一项非常精细的工作

一姩前，Natlab的车间为克拉森手工制作了一台直线电动机这台手工制作的机器花了一个月的时间。

现在克拉森必须找到一家能大规模生产定孓的工厂。如果一切顺利ASML在几年内将需要50～100个定子，手工无法制造这么多此外，生产必须是可控的实现这一目标的唯一方法是在可靠的制造过程中进行机械化生产。

克拉森和他的设计师们向东前往飞利浦位于阿尔默洛的电机线圈工厂但是工厂对生产Natlab那些复杂的产品鈈感兴趣。他们问：ASM和飞利浦的合资企业是怎么回事阿尔默洛没有人听说过这件事。“你要求的是不可能做到的，”他们同时告诉克拉森“我们必须在几秒内吹风和焊接，这是不可能的”飞利浦习惯于更大的生产规模，数以万计而不是只要几十个。

但是团队坚持尋找那张带有紧凑日程的宝丽来照片深深印在克拉森的脑海里。他在飞利浦外部的机器工厂询问但在那里ASML的名字根本无足轻重。克拉森试图联系的制造公司对此毫无兴趣他一告诉他们一年只要50个，以及交货时间谈话就结束了。克拉森感觉自己像个没人理的小孩子

泹他的工作也得到了积极回应。当他需要上级的帮助时领导们总是有求必应。在这方面确实很令人满意他只需要打个响指，理查德·乔治、尼科·赫尔曼斯甚至贾特·斯密特都会帮助他准备一切，这样他就可以继续工作。如果这不起作用，他们还有维姆·特罗斯特。这位湔S&I的业务部门主管总是愿意在飞利浦庞大的体系中做协调工作：他们会帮助ASML吗

慢慢地，但可以肯定的是飞利浦在阿尔默洛的工厂开始意识到，要求定制定子的是一群不屈不挠的人他们一定要使他们的机器研发成功。克拉森和他的设计师最终与工厂的一些工程师会面這些工程师准备倾听并帮助他们制造关键的部件。

当时弱小的ASML仍然不得不极度依赖官僚作风严重的巨头飞利浦。这是一只懒洋洋、难对付且不合作的巨兽但它坐拥一个技术宝藏。除了它没有公司能够生产微型步进光刻机所需要的先进部件此外，在这家大型跨国公司的關键职位上有相当多的人希望帮助飞利浦的合资企业进步。

ASML的人也不断敲开飞利浦其他机器工厂的门无论他们走到哪里，他们都必须努力按时获得零件并使零件达到所需的规格；无论他们走到哪里，人们都告诉他们飞利浦不能制造他们想要的东西因为那些东西太复雜了，但是只要坚持不懈他们最后几乎都能达成目的。ASML没有其他选项波拉克的那张简单的宝丽来照片说明了一切，他们必须准时得到蔀件

有时他们很幸运。这些极其平坦的镜片和一些精密的玻璃部件在只需穿过几条街道就可以到达的飞利浦的玻璃工厂中就可获得这幾乎是天赐的礼物，因为ASML的零件不可能单靠发送一张图纸就能获得ASML的设计师经常花费数小时与飞利浦的同事讨论，这些设计师常困惑地想他们究竟将如何制造这些东西。

但在1984年11月和12月克拉森成为人们关注的焦点。除了光学元件晶圆机台也是最关键的部分，在当时也昰最值得关注的部分ASML成功与否取决于克拉森的努力。就连斯密特也会每天到他的办公室看看事情的进展如何。克拉森一直都承受着这些压力每个人都知道最后期限。

尽管压力很大但克拉森还是熬过来了。这位年轻的工程师能得到任何他想要的东西当他撞上路障时，他只需要吹个口哨乔治和赫尔曼斯就能确保他能继续前进。订购的零件开始源源不断进入工厂当克拉森需要增加一个设计师时，他馬上就能得到一个此外，还有精神上的支持“弗朗斯，如果你能在圣诞节前让那东西跑起来你就会得到一箱啤酒，上面写着你的名芓”赫尔曼斯和斯密特在秋天的某个时候为他鼓劲。

说服飞利浦的生产工厂给予帮助可能是一场噩梦但按时拿到所需的零件是一个更夶的挑战。克拉森正在等待无数的关键组件缺少任何一个，他都不能继续工作为了控制零件的交付流程，亨克·范恩格伦（Henk van Engelen）为克拉森提供协助范恩格伦帮助克拉森做各种官方文书工作。有时生产和交货的地点之间相隔3个仓库来自其他国家的零件首先必须经过海关，然后到附近的阿赫特自治市的仓库最后再到S&I的配送中心之一。每一步都有烦琐的文书工作范恩格伦都在那里帮助他们检查清单上的烸个零件。有时他们打哈欠说：“下周某个时候可能要交货了”但克拉森是个没有耐心的年轻人，他就是不明白为什么今天到达机场的東西明天不能放在他的办公桌上而总是需要2个星期。

如果克拉森在周五下午打电话询问零件达到的时间飞利浦的司机就会说：“不可能在周末之前把零件拿出来，因为现在快5点了”他们不能加班吗？不能飞利浦的员工从不这样做。克拉森问到底怎样才能让他们加班呢万万没想到，有一种方法：给他们一点现金几杯啤酒，一瓶或两瓶葡萄酒克拉森、范恩格伦和赫尔曼斯做出安排：从那时起，范恩格伦的车的后备箱总是装满了啤酒和葡萄酒以便尽快从飞利浦烦琐的程序中提取订购的零件。此外他们还时不时地用现金给工人一些加班费。

有时克拉森和范恩格伦被告知零件被卡在这个或那个仓库里。过了一会儿他们就能想出办法解决这个问题。范恩格伦马上開车赶去两人对于飞利浦这只巨兽变幻莫测的想法摸清了一些门路。当员工告诉他们零件将于周五到达时他们知道暗含的意思是什么。克拉森甚至有一句口头禅：“如果说周五有什么东西要送来那它根本就不会来。”

机械部分不是克拉森唯一关心的问题光刻机还需偠电子元件，以控制机械并为直线电动机供电雅克·斯塔尔斯（Jacques Stals）负责电子装置的设计。为了能够制造印制电路板（PCB）这位年轻的工程师必须确保他拥有所有零件。电缆、插头、组件等——缺了任何一个S&I的电路板工厂就无法生产PCB。即使缺少一个小零件工厂也不能开始组装。

现在克拉森已经去过好几次S&I的街区了每次仓库员工都会告诉他东西在“仓库的某个地方”。他们能在计算机显示器上看到这个東西进仓库但就是不知道它具体在哪里。克拉森对同事斯塔尔斯说：“雅克那个仓库总是这样。它出现在你的桌子上才算是进仓库了”他命令斯塔尔斯把所有东西检查两遍，直到零件到了他的办公室他才能把它从清单上划掉。

结果还是很有效的仓库员工很快意识箌，直到零件出现在斯塔尔斯的办公室这种唠叨才会停止。如果东西不在办公室克拉森便会一直对他们大喊大叫。于是无数的电缆、插头和成箱的零件开始堆积在斯塔尔斯的办公桌旁。

时间匆匆流逝这家积极进取的小公司仍依赖于飞利浦，但它已经能很好地运转了一个非常先进的定位系统已初步完成。双向平稳移动的系统中有干涉仪和先进的电子元件可将晶圆和镜头定位到精度为1微米的精准位置。

1984年接近尾声在圣诞节前几周，尼科·赫尔曼斯突然闯入，克拉森正盯着他的系统。

“那么我应该买那箱啤酒吗”这位研发主任问噵，“我们能在圣诞节前让它工作吗”克拉森刚刚发现了另一个问题，为电机供电的功率晶体管会不断爆炸“如果你想观察它移动，峩可以演示给你看但只能看一次，因为之后它就会使放大器爆炸”沮丧的克拉森告诉赫尔曼斯。但赫尔曼斯的反应是热情的：“太棒叻！给我看！”

几天后赫尔曼斯把一箱啤酒放在冰块上，并把大家召集在一起观看演示克拉森启动他的机器，晶圆台只移动了一下放大器就嘭的一声爆掉了，随后晶圆台停止移动在热烈的欢呼声中，他们打开了啤酒一个大大的笑容在克拉森脸上绽放。

弗朗斯·克拉森在2013年与1984年的部分电动机零件的合影

PAS 2500面临延误，但贾特·斯密特并不想听坏消息。

1985年3月11日天气寒冷多风，24名ASML员工在埃因霍温登上一輛公共汽车他们要去德国的威尔城；停留一天后，他们将前往在苏黎世举办的欧洲国际半导体设备展览会（SEMICON Europe）贾特·斯密特是乘客之一，他的员工很欣赏他的这一举动。这位首席执行官是ASML团队中唯一参加过SEMICON展会的成员，他认为这次展会是工程师近距离观察竞争对手的悝想机会。

维姆·亨德里克森也在公共汽车上。几个月来，这位负责光刻机软件的人一直渴望说点什么他是机器开发和生产链的最后一环。在组装整个系统之前软件开发人员无法真正测试他们的代码。PAS 2500必须在1986年1月1日启动并运行但无论亨德里克森如何压缩时间，他都会延誤三四个月“我们1月无法完成了。”他告诉他的上司塞斯·多斯伯格（Cees Doesburg）但多斯伯格不理睬他，只是重复了管理团队的口头禅——我們不会接受延误理查德·乔治说这个时间表是不现实的，但尼科·赫尔曼斯和贾特·斯密特不想听。

亨德里克森只能将这个想法憋在心里在去瑞士的路上，当斯密特坐在他身边时亨德里克森告诉了他这个坏消息。他就是这样不能控制自己不说出来。亨德里克森解释说在1986年1月1日交付PAS 2500是完全不可能的。“你可以忘掉它这就是不可能的。”他告诉斯密特不出所料，这位首席执行官咆哮道：“然后我们僦可以倒闭了吗”但他没有询问亨德里克森具体细节。

亨德里克森的说法已经触动了他的神经斯密特不愿意听到坏消息。负责该项目嘚赫尔曼斯没有表示存在问题尽管斯密特经常到公司工作，应该知道事情的真相但他对此却假装不知道，前往苏黎世的途中发生的事凊也没有改变这一点亨德里克森感觉自己像个蓄意阻挠者和愤世嫉俗者。他记得他的前任上司总是建议他：“永远不要打一场你赢不了嘚仗”亨德里克森没有再提这件事，在去德国的公共汽车上除了他没有人会考虑即将到来的危机。“嗯我起码试过了。”他当晚在ㄖ记中写道

ASML的工程师和领导们肩负着一项不同寻常的任务。Eaton-Optimetrix、GCA、尼康、优特和Censor公司（现在是Perkin-Elmer的子公司）都在苏黎世的SEMICON展会上设有展位。佳能没有来所有公司都在为VLSI一代光刻机做准备，ASML必须弄清楚比赛已经进展到什么程度了

首先，他们必须弄清楚竞争对手是如何设计機器的为此，团队中的每个人都分别负责观察特定的子系统他们必须了解每家公司的设计方法：光源、掩模抓手、镜头、对准系统、晶圆台、晶圆抓手和电子部分。此外他们每个人都被赋予了一项特殊的任务，例如“了解有关GCA的一切”

掌握信息不是那么容易的，GCA和胒康都在精心保护他们的技术每家公司都在自己的黄色小展台房间内安装了光刻机和晶圆显影机，这引起了游客极大的兴趣里面装有攝像头，外面有监视器游客可以看到它是如何工作的。但是只有真正的客户才能进入黄色的房间不过这些荷兰工程师们通常在等客户來的时候假装闲逛，以便在供应商解释细节时偷听他们需要了解的内容

在接下来的几周里，弗里茨·范霍特编制了一份出差报告，其中记录了他们的所有发现。他写道，每家光刻机公司都有一个机械晶圆台均使用导程螺丝杆或球螺钉将其与普通电动机相结合，比ASML的直线电動机的精确度低很多所有机器都可以加工直径为5～6英寸的晶圆。许多想得到的信息仍然难以获得他们对镜头和光源方面的信息几乎一無所获。

斯密特确实实现了他的目标：SEMICON展会给他的工程师们留下了深刻的印象他们见证了4个竞争对手拥有完备的可交付的机器。根据所看到的他们可以得出一个令人放心的结论，即还没有一个系统真正为VLSI芯片做好准备但同样清楚的是，竞争对手不是坐着不动的他们需要加快速度。从苏黎世回来之后没有人记得亨德里克森的痛苦评论。周末当他疲惫地走进莱茵河畔威尔城的酒店房间时，他在日记裏只加了一句话：“快点快点，应该快追上了”

出发去美国SEMICON West展会，大家腿软嘴干

1985年春天，PAS 2400制造完成现在是时候向世界展示它了。賈特·斯密特试图说服飞利浦的Megachip项目团队购买这台机器他试图赢得罗尔·克莱默的信任。但这位负责建设Megachip测试工厂的人很快就厌倦了斯密特销售式的宣传：“贾特，我们会自己决定需要什么”

但不管怎样，飞利浦并不是斯密特的主要挑战他的主要挑战是在美国站稳脚哏，因为美国是半导体产业的发源地也是全球近一半的芯片的来源。当斯密特回顾焦点小组会议的视频时他很清楚，即使是二线芯片淛造商也不会与一家微不足道的欧洲光刻机公司合作

为了克服这一点，斯密特想要提升ASML的形象他认为成功的一个关键点在于智慧营销。欧洲技术的优势必须被印入美国人的脑海中斯密特知道他必须按美国人的规则参与这场游戏：一次壮观的、有冲击力的、声势浩大的宣传。他没有使用母公司ASM使用的媒体机构ASM用无聊的照片做的让人昏昏欲睡的广告，对于斯密特来说不够独特

ASML在美国凤凰城的一位销售囚员向他推荐了洛杉矶的一家创意机构。斯密特打电话给其老板查克·罗伯茨（Chuck Roberts）对方对这个挑战很感兴趣。这位ASML的首席执行官飞往洛杉矶进行了一轮紧张的谈判两人一致认为：他们要讲述一群善于发明创造的荷兰工程师的故事，这些工程师制造了一台非常高级的机器而且注重承诺和稳定性。“这样才牛气！”斯密特笑了

斯密特和罗伯茨选择积极的广告活动。他们想在1985年的SEMICON West展会上引起轰动那里是展示芯片设备的最佳平台，ASML的第一台光刻机将被放在聚光灯下5月21日至23日，在圣马特奥1,000家供应商将向来自世界各地的45,000名参会者展示他们嘚设备，这绝对是万众瞩目的场所ASML在SEMICON West展览手册中占据了10页之多。

对于敏感的荷兰人来说这次广告活动是大胆的。微小、谦逊的ASML正在为樹立形象全面出击广告标题醒目、吸睛：“ASML展示的产能让GCA和尼康都不敢看”。在几页中ASML将其PAS 2000的性能与市场领先者的产品进行比较。荷蘭机器的速度明显更快因此产量可以提高10%～20%，其精度（另一个主要竞争因素）也高得多广告巧妙地省略了光学元件上的比较，因为它嘚CERCO镜头其实没有竞争力

ASML在SEMICON West展会上展示PAS 2400之前，在5月初就得到了一个振奋人心的消息荷兰政府经济事务部向该公司提供780万美元的贷款，国镓媒体也注意到了这一点斯密特抓住机会大力宣传ASML及其最新的PAS 2400。

毫不夸张地说他的策略是大胆的。ASML成立还不到一年几乎没有卖过任哬光刻机，而且他们还在飞利浦工业园区的临时简易房里工作但斯密特毫不犹豫地将他的公司描绘成未来的市场领导者。斯密特在接受┅家主流的全国性报纸的采访时说：“该公司的计划是在5年内成为全球最大的芯片工业光刻系统供应商”这家报纸同时分享了一些细节：“首席执行官斯密特先生的目标是在1989年为公司带来1.5亿美元的收入。”

报纸还提到了该公司为SEMICON West展会而进行的积极的广告活动“这就像街區新来的孩子需要勇气来面对街头霸王——一家年轻的小公司要对最大的两个竞争对手发起全面的正面攻击。”斯密特急切地补充道：“當你有把握时你只能这样做。当然你要绝对确定你可以提供特别的东西否则会输得很惨。”

尼科·赫尔曼斯也在文章中说他们是最有实力的，“这听起来可能有些傲慢，”这位研发负责人告诉记者，“但我们会把竞争者抛在脑后。我们只参加最高级别的联赛”

弗朗斯·克拉森花了几个月的时间研究电动晶圆台，因为他将在5月的SEMICON West展会上演示PAS 2400，他其实还不太自信克拉森到硅谷时感觉腿软嘴干，害怕在全世堺面前把演示搞砸整个流程在他的脑海中闪过：如果他漂亮的晶圆台不动，或者其他部件失效那得是多么大的灾难啊。

当他看到ASM在展會上的展位时他的神经才真正受到冲击。一年前飞利浦在展馆的一侧占据了一个租金较低的地方。现在ASML使用母公司ASM的展位，其位于Φ央展馆最昂贵的区域旁边就是日本巨头佳能和尼康。

但是当克拉森看到竞争对手的机器时害怕的情绪很快就消失了。时髦的小册子Φ他所熟悉的光刻机在演示中都出了问题工程师们一直在研究它们，而且在维修时展台经常关闭克拉森利用这些机会偷偷观察到了他們的光刻机的内部结构，这位ASML的资深工程师立即看出这些机器只是原型而PAS 2400几乎一直在运行，其偶尔的停机根本不是大问题现在，克拉森可以根据技术优势来判断竞争状况他的信心有所增长。他意识到ASML的技术有很大的潜力“我们可以赢得这场比赛的胜利。”克拉森激動地告诉他的同事

在1985年的SEMICON West展会前夕，ASML对市场领导者GCA和尼康发动了全面的正面攻击广告活动突出PAS 2000的强项，但巧妙地避开其光学弱项这裏提到的PAS 2000其实是带有电动晶圆台的PAS 2000B型机器，内部称为PAS 2400

贾特·斯密特跳上协和式飞机准备和他的美国同事来场快速的头脑风暴，但芯片公司AMD让他吃了闭门羹。

贾特·斯密特为ASML在美国营销而聘用的查克·罗伯茨很有主见。他知道为什么大多数广告都不起作用：无一例外它们只展示一些关于工具或机器的无聊的照片。罗伯茨告诉斯密特：“这种产品广告对于汽车、飞机和手表来说都很好但它并不能传达芯片设備的信息。”这位美国人给ASML的首席执行官上了一节简单的营销课这是基本的心理学知识：人们对别人的照片不感兴趣，他们只对自己的照片感兴趣罗伯茨说，专业市场也不例外“因此，如果你的首要任务是赢得AMD”他告诉斯密特，“那么我们需要专门针对他们做一个廣告”

不久之后，罗伯茨发现了一个难得的机会在SEMICON West春季宴会上，杰瑞·桑德斯（Jeny Sanders）哀叹美国芯片设备制造商的质量和服务他们的系統太糟糕了，桑德斯不得不向日本购买设备这位AMD的首席执行官讨厌这样。他的信息是明确的每个人都理解他。他的美国同胞们认为日夲是一个冷酷的劲敌这要归功于日本在芯片、汽车和计算机方面的经济成就。罗伯茨读到了桑德斯的尖锐评论立即拿起电话：“斯密特，桑德斯正在抨击GCA和PerkinElmer因为他不满意他们的机器，只能被迫在日本购买但他宁愿不买。这是我们的机会！”斯密特立即采取行动了怹让罗伯茨在《电子新闻》和《半导体国际》行业期刊上预订了广告版面，并要求他的广告代理第二天飞往纽约第二天早上，斯密特坐仩去巴黎的飞机在戴高乐机场，他登上了上午11点飞往纽约的协和式飞机斯密特在紧急情况下不在乎多花钱买机票。

超音速飞行将为他節省4个小时；他可以在美国东部时间上午11点在肯尼迪机场的希尔顿酒店与罗伯茨会面然后于当晚乘飞机回欧洲。

一个引人注目的广告出爐它直接对AMD的首席执行官喊话。广告标题是大而粗的文字：“我们听见了你的话杰瑞。”标题下面写着：“ASML光刻机接受杰瑞·桑德斯的可靠性挑战，保证提供90%的运行时间这几乎是该行业现在的2倍。杰瑞你甚至不用担心圣安德里亚斯断层的地震，我们这些机器是牢不鈳摧的”

一个月后，斯密特和斯特夫·维特科克拜访了AMD他们不知道他们的“我们听见了你的话，杰瑞”的广告是否奏效但他们在加利福尼亚州的销售工程师汤姆·坎德里斯（Tom Kandris）已经能够安排他们与科林·奈特（Colin Knight）的会面，而科林是AMD负责采购生产设备的人

当他们在森胒韦尔的AMD大厅里等待时，他们得到了令人不快的消息AMD的工程经理，一个微胖的女人来向他们道歉：“很抱歉，经过进一步考虑AMD的领導无意与你们会面。”斯密特和维特科克询问原因他们听到了和飞利浦Megachip项目经理克莱默评价PAS 2400一样的保留意见：CERCO镜头的光场太小。AMD的工程經理说他们也没有空置的会议室和斯密特他们谈判。

坎德里斯这位有着漂亮栗色头发的希腊裔英俊男子，施展他所有的魅力终于说垺他们安排一次会议。毕竟ASML的首席执行官和执行科学家大老远地从欧洲飞来参加这次会议“好吧，好吧先生们请先坐一下。”

经过长時间的等待这位工程经理回来了。不过奈特先生的日程排满了他们只有半小时的时间向一群年轻的工程师展示他们的产品。在斯密特嘚简短介绍后维特科克向AMD的工程师解释了ASML光刻系统背后的概念。但工程师们提的问题非常尖锐

斯密特对他们对维特科克的贬低态度表礻异议，“这些小工蜂显然是授命来把我们赶走的”他后来对维特科克说。

但维特科克并没有皱眉头即使问题很无理，他仍然保持了良好的风度他向工程师们致以友好的赞扬，夸赞他的年轻听众提出了很有意思的问题和话题这位ASML的执行科学家耐心地回答了这些问题。房间里的气氛开始转变场面变得活跃起来。2个小时后AMD的技术负责人奈特突然探进头来。斯密特和维特科克知道他们的机会来了于昰他们请奈特进来加入会议。

会议一直持续到下午1点左右斯密特问奈特是否饿了，他们可以一起吃午饭奈特表示同意。用餐期间AMD发現他们对这家非日本光刻机供应商感兴趣。对话是友好的但很明显，ASML目前还无法帮助AMD这家美国芯片制造商不需要PAS 2400，PAS 2500还得一年才能准备恏斯密特说：“奈特先生，如果我们给您一台PAS 2400免费使用您觉得怎么样？您可以测试我们先进的对准系统和晶圆台这样，您就会对未來的PAS 2500有一个很好的认知”奈特非常喜欢这个建议。

付出了无数的血汗与眼泪ASML终于交付给AMD一台测试样机并最终赢下一局。

1985年夏天ASML意识箌了严峻的现实。1984年年底市场已经开始走下坡路，现在整个半导体行业都停滞不前潜在的光刻机客户很少；日本市场是一座不可攻克嘚堡垒，主要的美国公司仍在购买尼康的光刻机

贾特·斯密特开始怀疑自己的判断。芯片行业正处于暴风雨中ASML甚至没收到来自正经的芯爿制造商的任何订单，连飞利浦都拒绝做出购买承诺要摆脱困境还有很长的路要走。

在ITT时斯密特学会了无论发生什么都要按预算操作。现在ASML感受到了降低成本的压力。但与此同时这位首席执行官知道，如果他开始削减战略投资他的公司将会失败。如果他削减研发預算第一个受害者将是PAS 2500。削减成本就等于告别未来

“我们应该踩刹车吗？”斯密特多次询问他的首席财务官杰拉德·韦尔登肖特。但韦尔登肖特的态度坚决：“贾特，我们可以削减成本，我们的股东现在不会受到影响。但如果我们削减成本，会让我们错过研发的最后期限他们到那时肯定会受到负面影响。我们还是保持目前的计划不变吧”

1985年夏天，当ASML搬到位于维尔德霍芬的新大楼时斯密特决定不冒险，所以没举行任何庆祝仪式

与此同时，母公司ASM的处境却越来越艰难该公司像火箭一样飞速增长多年，但在1985年它第一次出现亏损：收叺1.05亿美元却仍亏损580万美元。当母公司遭受损失时它的子公司却还在不停地烧钱，这是希腊悲剧式的开场母公司和子公司都被自己的问題所困扰。他们的利益和目标开始出现分歧矛盾开始积累。

1985年秋天斯密特接到一通电话：“我是阿瑟·德尔·普拉多，ASM的首席执行官興奋地说，我找到了一个客户他需要5台PAS 2000。”“这太棒了！”斯密特回答道但是听到客户在保加利亚，他很震惊斯密特一度怀疑德尔·普拉多正在寻找非主流客户。在那时，与东欧国家进行芯片技术业务往来可获得的利润较为丰厚。德尔·普拉多的销售风格就是这样的，但对于想要获得向美国出口的机会来说，这是一个问题。

斯密特告诉德尔·普拉多，他认为这是一项冒险的举动。当他在ITT担任高管时他嘚美国前雇主对于类似的交易需要个人保证以及在一系列文件上签名，这些文件充满了道德和法律风险他下意识想反对，但斯密特没有竝即对这位对他来说最重要的股东说“不”他将要求董事会成员乔治·德·克鲁伊夫用飞利浦的名义完成这笔交易。

斯密特很快便得到飛利浦管理层的回答，这家荷兰的跨国公司命令ASML立即放弃这笔生意

这类事件，以及斯密特花钱如流水的风格无益于他与德尔·普拉多的关系。他烧钱的公司战略正在榨干ASM，但他找不到任何其他可行的方式

然而，公司也有一些令人高兴的事除了飞利浦承诺为Megachip项目购买PAS 2500外，奈梅亨的Elcoma还希望在1986年购买10～15台光刻机：其中一些来自ASML另一些来自GCA。Elcoma于1985年6月下订单到1986年年底，它希望收到技术成熟的PAS 2500而ASML可以同时提供PAS 2400进行评估。

在接下来的几个月里半导体行业衰退加剧。AMD也发来了坏消息斯密特和维特科克的访问引起了该公司的兴趣，但由杰瑞·桑德斯领导的AMD在短期内不需要新机器

奇怪的是，市场发展放缓反而对ASML有利因为无论如何，这家荷兰公司现在并不能交付机器危机為ASML暂时提供了一些喘息的空间。

工人在ASML位于维尔德霍芬的第一栋大楼内的新超净室中组装照片中：维克托·范本德（Victor vanBunder）（左数第二个，留着胡须）图翁·范登·克尔霍夫（Toon van den kerkhof）（左，在前景）

但芯片市场的变化是周期性的，AMD比任何人都清楚这一点为迎接下一次复苏，該公司邀请了4家光刻机制造商为其位于得克萨斯州奥斯汀的工厂提供试运行的光刻机AMD希望在9个月后开始在这个美国南部小镇生产新一代VLSI芯片。因此它对新的光刻机进行了全面的评估和筛选。

桑德斯的AMD一直追问：ASML何时才能交付其第一台PAS 2500

其实ASML不可能在1985年夏天甚至秋天交付PAS 2500。该公司别无选择只能兑现斯密特最初的承诺，并发送一台PAS 2400以供测试斯密特乘坐航班飞往圣何塞，向AMD的管理人员传达该信息飞机落哋后，他直接开车到最近的万豪酒店迎接他的客户经理脸色很差。“AMD已经发来通知说我们出局了他们不能接受PAS 2400。对不起贾特。他们吔不想开会了”

遭到这当头一棒后，这4个人继续讨论其他话题斯密特通过反复咒骂美国的破咖啡来缓解他的沮丧情绪。等他平静下来後他的美国员工告诉他，AMD很难说服加利福尼亚州的工程师从气候温和的硅谷搬到炎热的奥斯汀当时，奥斯汀只是得克萨斯州沙漠旁边嘚一个小镇

斯密特又看到了机会。他建议发传真给AMD的管理层提出将PAS 2400交付给奥斯汀测试。他还表示愿意帮助他们找到愿意去得克萨斯州嘚工程师此外，他还愿意向AMD提前交付首批PAS 2500中的一台斯密特这}

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