海伯森的同轴激光共焦激光位移传感器输出信号能够支持多少个传感头同时工作

点击联系发帖人 时间：2020-07-01 08:10

激光位移传感器输出信号

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纳米级精度激光激光位移传感器輸出信号（HPS-LC010）

HPS-LC010是基于激光三角测距原理进行测量的高精度非接触式传感器具有直射/斜射式兼容结构，既能检测漫反射表面也能检测镜面反射表面控制器部分加入了人性化触摸屏操作界面，丰富的通讯接口方式用户使用及后期集成开发

◇±0.1μm（RMS）超高重复精度

◇内置算法，适用多种反射率物体

触摸屏表面高度和气隙测量

图案晶圆的Z轴高精度定位

HDD读取器臂和媒介间的段差测量

工件翘曲度和平行度测量

655nm半导體激光器

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