张曙同济大学教授、博士生导師、现代制造技术研究所名誉所长、兼任上海理工大学机械学院名誉院长、哈尔滨工业大学等十余所高校兼职教授，如皋市人民政府顾问中国机械工程学会高级会员、常务理事、生产工程分会副主任委员、中国自动化学会机械制造自动化分会副主任委员 、美国车床制造工程师学会高级会员，以及诺维特机械科学技术发展中心理事长 

      超精密加工一直是机床技工行业内比较前沿的领域，而金刚石的加工由于對机床自身的刚强度精密度等各方面的要求更高，于是更加具有代表性

      下面，笔者将为大家介绍三款世界上应用于超精密金刚石加工嘚典型机床希望能为从事相关工作领域的朋友带来一定的启发：

由美LLNL国家实验室耗资1300万美元、历时40个月，于1984年研制成功的大型光学金刚石车床LODTM被称为“世界最精密的车床”，多用于加工φ1.65mX0.5m重达1360Kg的激光核聚变装置的零件和大型天体反射镜等。

      ·X轴V-平面静压导轨Z轴平面涳气静压导轨，主轴采用静压径向轴承和静压止推轴承

·多传感器（7激光干涉仪，3个差动压力表1个编码器）用于实时计算从刀具-工件嘚路径（1.5ms更新）

      ·工作台移动部件重量轻，安装在床身较低位置，重心低，高速切削时震动小

      ·高精度高刚度高线性导轨，直线电机驱动，保证高直线度和平稳性 

      ·两根光栅尺安装在同一高度，消除上下两层温差的影响

      ·机床的右侧配置有立式多层盘式刀库，在刀库中可以安装带红外线传输的接触式测量头，用于测量工件尺寸和位置

      ·机床左侧配置有自动工件交换装置。机床配备有非接触式激光测量装置，用鉯在主轴高速旋转时测量刀具的长度直径和同心度。

      ·加工中心是对称的金字塔龙门型结构，灰色的床身和龙门框架是人造花岗岩铸造的，抗振性好，热传导率低，保证了机床的热稳定性和刚性。

      ·循环的冷却液压油在机床床身，静压导轨和各运动轴的驱动装置中储蓄流动，进行冷却。

      ·温度管理系统是中央冷却箱的温度控制在±0.25℃范围内从而降低了机床对环境温度控制的要求

      ·超精密加工机床另一关键是坐标移动的精度，灵敏度和稳定性。

      ·3个直线驱动轴皆采用静压导轨和静压丝杠，具有接近领摩擦无磨损，无噪音高动态刚性，低耗能和高阻尼等一系列优点

      ·可以实现高加速度和最小为0.1um的微量移动。保证在很小的进给速度时也没有爬行现象