【摘要】:正 引言本文报导一种適用于研究和制作电流增益带宽乘积f_r达5千兆赫的平面微波晶体管的硼扩散技术通过淀积最小厚度的硼玻璃来实现硼扩散。硼玻璃厚度最尛可使杂质分布均匀,从而使杂质中心限定为一定量为达到这种目的,选择了最佳扩散参数——气体灭火终端模块掺杂
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