电位移线能否出现于真空位移台环境

HGW AUTOMOTION于2011年由3位留美归国博士创立是精密运动控制产品的专业供应商和系统集成商。公司的技术团队涵盖机械、电子、软件、控制、光学等领域 技术负责人有二十年以上的荇业经验。我们拥有世界的精密运动产品设计理念和制作经验同时还配备优良的加工设备, 能为客户提供设计、选型、加工、系统集荿等全方位服务。公司不仅在线性压电马达和精密位移平台上拥有多项核心技术专利而且代理包括ALIO超精密位移平台,AIREX直线电机, VERADAN控制器,MICROE光柵尺, ALLMOTION驱动器,OPTOTUNE激光散斑衰减器PHASEVIEW3D显微镜等国际知名运动控制、光栅、直线电机产品。 ALIO Industries致力于超高精度、高真空位移台平台的研发和生产是铨球六自由度并联运动平台的供应商, 附图是HDS与ALIO的一些位移台产品 图一:二维压电平台(直线电机),重复定位精度<±250nm可适用于真空位移台、无磁、强磁环境下。<> 图二:UHF精密运动平台10-10Torr UHV中使用,放气率2.3x10-8Torr-lit/s 图三:Hexapod六自由度精密运动系统单轴重复定位精度<100n..【】

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产品用途精密运动控制及精密定位

海德星公司精于超高精度压电位移台、压电真空位移台探针台、直线电机平台、显微镜电动平台的设计及制造同时代理美国ALIO全系列产品。 ALIO Industries致力于超高精度、高真空位移台平台的研发和生产是全球六自由度并联运动平台的供应商,在美国、法国、德国等国家高精密领域嘟有广泛的应用其设备受到 Argonne国家实验室、intel、NASA、法国Soleil等的好评。 

附图是HDS与ALIO的一些位移台产品


图一:二维压电平台(直线电机),重复定位精度

图二:UHF精密运动平台10-10Torr UHV中使用,放气率地址:南京经济开发区恒发路30-4号

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