问题：真空镀膜机束流高压电压沒指示

1.在正常工作时,主开关电路中的管压降保持在100V左右,开关管处于饱和导通状态,高压电压指示6kV(或10kV),栅极得到正偏压50V。从检测电路R21上得到的電压控制信号不足以使D13稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16处于截止状态,而BG11、BG12、BG13处于导通状态,由BG11输出一个2.5V左右的高电位

在不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压电压无指示。这是由于高压电压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压电压,使得高压电压无输出由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路R21取得的过流信号,使得D13稳压管被击穿导通,BG14、BG15、BG16处于导通状态,C13通过BG14、R51放电,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11输出为0V。栅压切换电路上的BG10得箌0V的输入信号而截止,BG9立刻导通,550V正端通过BG9接到主开关管的阴极,负端通过D5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550V偏压而进入深度截止,此时高压电壓就没有指示了

2.只要不超过真空镀膜机器的耐压极限就没有问题，不过镀膜的时候比较忌讳束流变化那样影响膜层的均匀和最终效果。根据材料不同速率也不同比如氟化镁40ma就够了，二氧化硅就要100ma以上氧化锆200ma左右，所以不能说大小就好也要根据材料确定电流。