碳化硅SiC,第三代半导体材料碳化硅功率器件怎么选?

 半导体器件是现代工业整机设备嘚核心广泛应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子等核心领域,半导体器件产业主要由四个基本部分组成:集成电路、光电器件、分立器件、传感器其中集成电路占到了80%以上,因此通常又将半导体和集成电路等价集成电路,按照产品种类又主要分为四大类:微处理器、存储器、逻辑器件、模拟器件然而随着半导体器件应用领域的不断扩大,许多特殊场合要求半导体能够在高温、强辐射、夶功率等环境下依然能够坚持使用、不损坏第一、二代半导体材料便无能为力,于是第三代半导体材料碳化硅材料便应运而生目前,鉯碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)为代表的宽禁带半导体材料以更大的优势占领市场主导统称第三代半..

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  “碳化硅器件在高温、高压、高频、大功率器件以及航天、军工、核能、新能源汽车、LED照明等领域有很强的优势”台州市一能科技有限公司创始人张乐年谈及半导體级碳化硅原料项目时说到。“作为科技部863计划第三代半导体材料碳化硅材料及应用的基础原料碳化硅原料的国产化,将加快碳化硅器件的普及既节约60座以上核电站的电力以及减少10%以上石油消耗,又能够使中国在价值4000亿美元的第三代半导体材料碳化硅产业中占据主导地位”


  另一种材料氮化镓(GaN),由于具备出色的击穿能力、更高的电子密度及速度和更高的工作温度,也被广泛应用于功率因数校正(PFC)、軟开关DC-DC等电源系统设计以及电源适配器、光伏逆变器或太阳能逆变器、服务器及通信电源等终端领域。


  GaN提供高电子迁移率这意味著开关过程的反向恢复时间可忽略不计,因而表现出低损耗并提供高开关频率而低损耗加上宽禁带器件的高结温特性,可降低散热量高开关频率可减少滤波器和无源器件如变压器、电容、电感等的使用,最终减小系统尺寸和重量提升功率密度,有助于设计人员实现紧湊的高能效电源方案   在巨大优势和光明前景的刺激下,目前全球各国均在加大马力布局第三代半导体材料碳化硅领域但我国在宽禁带半导体产业化方面进度还比较缓慢,宽禁带半导体技术亟待突破


  “最大的瓶颈是原材料。”中科院半导体研究所研究员、中国電子学会半导体与集成技术分会秘书长王晓亮认为我国原材料的质量、制备问题亟待破解。此外湖南大学应用物理系副教授曾健平也表示,目前我国对SiC晶元的制备尚为空缺大多数设备靠国外进口。


  “国内开展SiC、GaN材料和器件方面的研究工作比较晚与国外相比水平較低,阻碍国内第三代半导体材料碳化硅研究进展的重要因素是原始创新问题”国家半导体照明工程研发及产业联盟一专家表示,国内噺材料领域的科研院所和相关生产企业大都急功近利难以容忍长期“只投入,不产出”的现状因此,以第三代半导体材料碳化硅材料為代表的新材料原始创新举步维艰


  原始创新即从无到有的创新过程,其特点是投入大、周期长以SiC为例,其具有宽的禁带宽度、高嘚击穿电场、高的热导率、高的电子饱和速率及更高的抗辐射能力非常适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率器件。然而生长SiC晶体难喥很大虽然经过了数十年的研究发展,到目前为止仍只有美国的Cree公司、德国的SiCrystal公司和日本的新日铁公司等少数几家公司掌握了SiC的生长技術能够生产出较好的产品,但离真正的大规模产业化应用也还有较大的距离因此,以第三代半导体材料碳化硅材料为代表的新材料原始创新举步维艰是实现产业化的一大桎梏。


  “第三代半导体材料碳化硅对我们国家未来产业会产生非常大的影响其应用技术的研究比较关键,若相关配套技术及产品跟不上第三代半导体材料碳化硅的材料及器件的作用和效率可能会发挥不好,所以要全产业链协同發展”中兴通讯副总裁晏文德表示。


  是机遇也是挑战未来,我国第三代半导体材料碳化硅产业将面临许许多多的难题就像北京夶学宽禁带半导体研发中心沈波教授所说,当前我国发展第三代半导体材料碳化硅面临的机遇非常好因为过去十年,在半导体照明的驱動下氮化镓无论是材料和器件成熟度都已经大大提高,但第三代半导体材料碳化硅在电力电子器件、射频器件方面还有很长的路要走市场和产业刚刚启动,我们还面临巨大挑战必须共同努力。

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碳化硅材料是清谷逆创的新能源芯片与系统产业链布局为山东省微山县量身定做的芯片应用产业链。

半导体材料经过几十年的发展第一代硅材料半导体已经接近完美晶体,对于硅材料的研究也非常透彻基于硅材料上器件的设计和开发也经过了许多代的结构和工艺优化和更新,正在逐渐接近硅材料的極限基于硅材料的器件性能提高的潜力愈来愈小。以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体材料碳化硅具备优异的材料物理特性为进┅步提升电力电子器件的性能提供了更大的空间。

SiC是由硅(Si)和碳(C)组成的化合物半导体材料其结合力非常强,在热、化学、机械方面都非常穩定SiC存在各种多型体(多晶型体),它们的物理特性值各有不同4H-SiC最适用于功率元器件。下表为Si和近几年经常听到的半导体材料的比较

以SiC为代表的第三代半导体材料碳化硅?功率电?电?器件是?前在电?电?领域发展最快的功率半导体器件之?。碳化硅作为第三代半導体材料碳化硅材料的典型代表也是目前晶体生产技术和器件制造水平最成熟,应用最广泛的宽禁带半导体材料之一目前在已经形成叻全球的材料、器件和应用产业链。是高温、高频、抗辐射、大功率应用场合下极为理想的半导体材料由于碳化硅功率器件可显著降低電子设备的能耗,因此碳化硅器件也被誉为带动“新能源革命”的“绿色能源器件”

采用碳化硅作为衬底的LED期间亮度更高、能耗更低寿命更长、单位芯片面积更小,在大功率LED方面具有非常大的优势

2008年北京奥运会期间建造的水立方场馆照明即采用了496000颗碳化硅基大功率LED

在5千伏以上的高压应用领域,半导体碳化硅功率器件在开关损耗与浪涌电压上均有应用最大可减少 92%的开关损耗,半导体碳化硅功率器件功耗降低效果明显设备的发热量大幅减少,使得设备的冷却机构进一步简化设备体积小型化,大大减少散热用金属材料的消耗

3、新能源汽车及不间断电源等电力电子领域

新能源汽车产业要求逆变器(即马达驱动)的半导体功率模块,在处理高强度电流时具有远超出普通工业鼡途逆变器的可靠性;在大电流功率模块中,具有更好的散热性高效、快速、耐高温、可靠性高的半导体碳化硅模块完全符合新能源汽車要求。半导体碳化硅功率模块小型化的特点可大幅削减新能源汽车的电力损失使其在200℃高温下仍能正常工作。更轻、更小的设备重量減少减少汽车自身重量带来的能耗。

半导体碳化硅材料除了在新能源汽车节能中占有重要地位外,在高铁、太阳能光伏、风能、电力输送、UPS不间断电源等电力电子领域均起到了卓越的节能环保作用

4、让电子设备体积更小

将笔记本电脑适配器的体积减少80%,将一个变电站的体積缩小至一个手提箱的大小这也是碳化硅半导体令人期待的一个地方。

随着国家对第三代半导体材料碳化硅材料的重视近年来,我国半导体材料市场发展迅速其中以碳化硅为主的材料备受关注。尽管如此但产业难题仍待解决,如我国材料的制造工艺和质量并未达到卋界顶级材料制造设备依赖于进口严重,碳化硅器件方面产业链尚未形成等这些问题需逐步解决,方可让国产半导体材料屹立于世界頂尖行列

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