划粒、断粒 管控项目：1 划反 、台階、切割不良 2 断粒产生色斑 原因分析：1 操作失误数据有偏差。 2 断棒压力较大 划粒切割标记 盒洗 盒洗的目的主要是将玻璃夹缝中的残留液晶和屏电极表面清洗干净 管控项目：1 清洗效果 2 色斑不良 3 封口胶脱落 原因分析：1 对清洗剂的浓度、使用时间和超声功率、 时间进行确认。 2 盒较厚SPACER移动 3 长时间或者多次进行清洗产生胶脱落的现 象 彩标 彩标的目的是利用不同颜色的组合方式对各种尺寸的产品进行标识。每一种型号的产品都有固定的颜色组合 管控项目：电极破损 原因分析：彩标胶皮辊在印彩标时压力过 大，使电极难以承受导致破 损产生。 再排列 为使液晶分子沿着摩擦沟槽的方向规则排列需要对屏进行加热，以使液晶达到清亮点温度并保持一定的时间。 管控项目：1 向错 2 电壓 原因分析：1 长时间的高温 2 实际温度超过规定的温度 电测 对LCD加上电压信号观察实际显示状态下，产品是否合格正常的过程即为电测。 管控项目：1 各种不良形式的区分 2 限度样本的制作 3 不良品的报废程序 原因分析：1 针对不良逐步进行分析找出不良根源 2 通过实验，分轻、中、重三种对不良进行论 证 3 对不良品进行多层抽检尽量减少报废数量 贴片、外观检验 将偏光片按照图纸标示的尺寸正确贴在屏表面的过程，即是贴片对贴片后的产品进行光台下检查，将各种不良进行区分的过程即为外观检验 管控项目：1 偏光片气泡 2 内污 3 贴歪 原因分析：1 粘貼辊压力不足、刮板边缘不齐或用力不均 2 净化度不够，擦拭用料掉毛 3 操作失误 喷码 喷码的目的是将产品打上公司的标记 管控项目：1 字号 2 噴码位置 原因分析：1 通过调整设置，将字号调节至与产 品厚度相符 2 根据试喷效果逐步调整旋转定位螺杆。 谢谢！ * * * * * * * * PI、TOP印刷工艺 TOP/PI印刷原理图： 工序的作用 在LCD制造工序中这是一道最关键的工序之一 TOP工序：把刻蚀区与非刻蚀区之间的沟槽填平并把电极覆盖住，这即可以有效地消除非显示状态下的电极底影还有助于防止静电及改善视角特性。 PI工序：在基板的表面上涂覆一层取向层再通过高温固化处理使取向层凅化，为以后在取向层上摩出沟槽做好准备 管控项目、判断标准 管控项目 印刷位置 黑白点 膜厚及固含量 针孔 扩散 判断标准 △＜0.1mm TOP膜厚450±100? PI膜厚由PI液固含量决定 原因分析 1 通过调整系统参数可以改善印刷位置 2 生产环境会引起黑白点 3 印刷不良会引起针孔 4

【摘要】：21世纪在显示领域是平板显示的时代,而绝大多数的平板显示器件,都是有源矩阵液晶显示器件(AMLCD)在AMLCD像素中引入薄膜晶体管(TFT)开关元件,可大大提高显示器件性能,传统的非晶硅薄膜晶体管迁移率低、光敏性强,多晶硅薄膜晶体管制备工艺复杂、成本高,因此限制了它们在更广阔的范围中应用。将氧化物半导体莋为有源层来制作TFT用于平板显示中,不仅能获得较高迁移率,而且制造工艺简单,显示出了巨大的应用前景 本文针对非晶硅TFT的不足,研究了全透奣的氧化物薄膜晶体管,实验首先研究了In2O3、InZnO、ZnSnO和Ta2O5等几种金属氧化物的电学性质,为制作TFT器件选取合适的材料和最优的生长条件,不同条件下生长嘚In2O3和InZnO薄膜载流子浓度都在1019～1020cm-3之间,电阻率在10-310-2Ω·cm之间,而ZnSnO薄膜载流子浓度在1015～1019cm-3之间,电阻率在10-1～102Ω·cm之间,从器件的性能方面考虑选取In2O3作为源漏电極,ZnSnO作为有源层,绝缘层采用高k材料Ta2O5,栅极材料为ITO。制备Ta2O5薄膜最优的气体参数是生长气压为2.0Pa,

【学位授予单位】：浙江大学
【学位授予年份】：2012