评 述 ( ) 半导体量子点及其应用 Ⅰ 趙凤瑷 张春玲 王占国 ( 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室 北京 100083) 摘 要 量子点 ,又称“人造原子”,它是纳米科学与技术研究的重要组成部分. 由于载流子在半导体量子点中受 到三维限制而具有的优异性能 ,构成了量子器件和电路的基础 ,在未来的纳米電子学 、光电子学 ,光子 、量子计算和 application 载流子在三个维度上都受到势垒约束而不能自由运 1 引言
用SEM改装成的电子束光刻线宽10nm及套刻精度不足50nm的器件图形美国明尼苏达大学电子工程系的P.B.Fischer和S.Y.Chou等人利用一台JE-OIL-840A型扫描电镜(SEM)改装成一台电子束直接光刻系统采用Ni/Au剥离工艺,在大...
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