在设计院干设计已经八九年了。但是还是深感水平不足，需要学习的东西还是很多。底子本
下班，你睡得心安理得么？
劳动是财富的源泉，不干活哪有钱拿？
劳动是幸福源泉，
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NFPA318译文
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适用于所有本篇所定义的无尘室或洁净区的半导体厂。
此标准旨在提供避免火灾及相关危害的安全防护,从而减少人员伤害及财产损失。
在此标准中没有刻意的去保护使用体系,方法,等价装置或者上级品质,火灾抵抗,效力,经久度,安全超过了其他规定。
此标准所考虑的是合理的预防火灾及爆炸,避免造成人员伤亡及财产损失.
1.5名词定义
1.5.1高架地板系统
配电盘架设于基座上用来提供地面下空间供安装机械批准权限LAI 定义的无尘室及、通讯或类似系统或作为供风或回风空间。
可接受的管辖权。
1.5.3管辖权
组织部门或个人负责对满意设备进行安装或手续。
1.5.4洁净区
定义为空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内的空间。
1.5.5无尘室
定义空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内的房间，如果高压地板下面和天花板上面属于通风区域的一部分或属于额定的建筑无内，那末无尘室包含也包含这两部分。
1.5.6压缩气体
于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,绝对压力大于40psi(275.8Kpa);或在70 OF时绝对压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104或易燃性气体在100 OF(37.8℃)时,其蒸汽压大于40psi称为压缩气体。
气体体积围绕原料或者建筑物突然、激烈的扩增，导致冲击、分裂,可能为化学性质的改变(如迅速氧化或燃烧、化学分解或聚合)，或者来自物理性质的变化(如压力筒破裂)。
1.5.8易燃性蒸汽
易燃性蒸汽在空气中的浓度超过其最低燃烧下限的10%称为易燃性蒸汽。
1.5.9危害性化学品
任何固液气体具有深度危害健康等级、易燃性及反应性经NFPA704(Standard System for the Identification of the Fire Hazards of Materials)评定为Class 3,4者称为危害性化学品。
1.5.10界面
数个独立系统会合于此,并经此互相运作或联络的地方。
1.5.11互锁
当机器操作一动作时会自动引起其它动作或暂停执行其它动作。
1.5.12液体
1.5.13检验合格
设备或材质经具管辖权的单位评估认可。
1.5.14、非可燃物
通过ASTME136(Standard Test Method for Behavior of Materials in a Vertical Tube Furnace at 750 Degrees C)测试通过,于正常状况下以火焰或高温测试不会自燃,助燃或释放可燃性蒸汽者称之为非可燃物。
1.5.15传递窗
在墙边做一密闭围篱(enclosure)两边开门用以传送化学品材料设备。
1.5.16自燃物
在空气中其自燃温度低于130 OF(54.4℃)之化学物质。
1.5.17限制流量的节流器(Restricted Flow Orifice)
在气体钢瓶阀体限制最大流率在30 L/min(1.06 ft3/min)。
1.5.18烟雾
当物质和空气进行高温分解或燃烧所产生传播于空气中的固体及液体粒子和空气的混合物。
1.5.21标准
1.5.22待机模式
当易燃之气体或液体因受热产生危险而将电源关闭(除了控制电源外)之模式称为待机模式。
1.5.23非当事双方之顾问
为一专业并受过训练合格有经验之人士能针对制程设备依标准进行危害分析。
1.5.24工具
在无尘室中使用之机件,储存容器,工作站或制程设备。
1.5.25工作站
在无尘室中使用危害性化学物品的特定空间,或独立设备配置有抽风设备、火灾保护设备、气体及其它危害物的侦测器电力装置及其它制程设备。
防 火 设 备
2-1　自动灭火系统
2-1.1　绪论
湿式洒水系统保护区域应该遍及无尘室和洁净区.
2-1.2　自动撒水系统
2-1.2.1　洁净室内的自动撒水系统应合乎NFPA13 Standard for the
Installation of Sprinkler System之要求，并达到0.2 gpm/ft2之单位面积
撒水量，每一防护区域分区不可超过3000 ft2。
2-1.2.2　洁净室内受向下气流吹拂之撒水头应采用合格之快速反应撒水头。
2-1.2.3　 内装可燃性气体钢瓶储藏室内应装设撒水头。
钢瓶装硅甲烷之开放式配送系统应装设自动水雾灭火系统，同6.4,6.5描述。
例外：若该硅甲烷配送系统所在位置远离主建筑物，且有缓和爆炸之设计者，得免装设自动水雾灭火系统。
2-1.2.5　洁净室天花板上之空间应依 NFPA13 Standard for the
Installation of Sprinkler System之规定，装设自动撒水设备，并达到 0.2 gpm/ft2之单位面积撒水量，每一防护区域分区不可超过3000 ft2。
可燃性废气管道最大截面直径大于或等于 254 mm时，管内应设自动撒水设备。
例外：经过特别核准可免装撒水头之管道，不在此限。
2-1.2.6.1　装设于管道内的撒水系统，在每单位面积内应达到 0.5 gpm之出水量。离加压设备最远之５个撒水头至少应达到每只撒水头20gpm之出水量。撒水头间之水平距离不得大于 6.1m，垂直距离不得大于3.7m。
管道内之撒水系统必须装设一指示控制阀
2-1.2.6.3　管道内应装设足以排放撒水之排水系统。
2-1.2.6.4　管道内有腐蚀性气体时，撒水头及其配管必须为抗腐蚀材质或表面涂怖抗腐蚀涂料。
2-1.2.6.5　管道内之撒水头必须便于定期检查保养。
2-1.2.7　无尘室外墙上供递送可燃性物质之信道必须装设自动撒水头。
　警报系统
2-2.1　自动灭火系统激活时，现场之警报音响与24小时有人之值勤室内警铃及灯号皆应连动。
2-2.2　作业场所空气中可燃性气体浓度有超出其爆炸（燃烧）下限20﹪之可能者，该场所应装设可燃性气体浓度探测器。
2-2.3　警报讯号传送设备，在设计上可传送一个区域以上之讯号者，在测试时应逐一确认每一区域之警报讯号传送是否正常。
2-2.1中之警报系统应设置手动报警设备
2-3　侦测系统
2-3.1　无尘室回风处应装设侦烟探测器，该探测器至少应有每英呎0.03﹪遮光度之灵敏度，且能侦探10 microns以下之微尘粒子。
2-3.2　侦烟探测器应连结至24小时有人值勤处所内之受信机，并连结地区警铃与灯号，及生产设备警铃与灯号。
2-3.3-1　钢瓶装硅甲烷开放式配送系统（如6-4.2.1(b)所述）应设探测器，探测器感知后应连动关闭硅甲烷钢瓶之自动紧闭阀（automatic shutoff valves）（如 6-1.2所述者）。
换气与废气排放系统
3-1　供气与空气再循环系统
3-1.1　引进室外空气之位置应避免存在腐蚀性、可燃性、污染性等危险物质。
3-1.2　HEPA与ULPA空气过滤器应合乎 UL586之抗燃要求。
3-1.3　空调管及其附属对象应以不燃材料建造（如铝铁），且必须通过UL181 测试归类为class 0 或class 1 者。
3-1.4　供气风管须以 NFPA255测试，其延烧指数（flame spread
index）应在25以下，浓烟产出等级（smoke-developed rating）应在50以下。
3-2　废气排放系统
3-2.1　洁净室排出之废气不可再循环，其排气管应直通室外屋顶，其位置、高度与排放速度应足以防止废气滞留或再流入室内。
3-2.2　能源节约装置（energy conservation devices） 有污染无尘室空气供应之虞者，应避免装设在废气排放系统内。
3-2.3　含危险物质之废气抽送管内应维持在负压状态（与室内气压比较）
3-2.4　工作站内之换气与排气系统应有收集废气及排除废气之功能。
3-3　废气排放系统之结构
3-3.1　使用可燃物质或结构为可燃性之工作站之废气排放管中不可使用有棱纹的弹性连结组件。
3-3.2　废气排放系统应为独立结构，建筑物之任何一部份皆不可充当系统之组成要件。
3-3.3　两个（或以上）作业程序各别所产生之废气，其成份互相混合后有发生火灾或爆炸之危险者，排气系统应分开各别设立，不可使用同一排气系统。
3-3.4　排气管贯穿建筑物之防火结构（墙、楼板等）时，排气管应以有相同防火性能之材料包围。
3-3.5　排气管内不可设置防火挡板（Fire damper）。
3-3.6　废气排放系统应为不燃性构造，或按 2-1.2.6之规定装设自动撒水设备，但经核定不须设撒水头之排气管，不在此限。
3-3.7　非金属材质之废气排放管之内部或外部环境有发生火灾之危险时，经NFPA255测试，其浓烟产生等级应在25以下。
3-4　管内风速
洁净室排气系统内之气流速度应足以使管内可燃性气体维持在燃烧下限以下。
3-5　控制装置
3-5.1　排气换气系统应有可自动转换之预备电源，预备电源之设计与安装应符合NFPA70之标准。
3-5.2　紧急电源应能供应排气系统运作量，使危险物质浓度维持在安全之水准，其排气量至少应为正常状态下之50﹪以上。
3-5.3　火警自动警报系统动作时，废气排放系统之风扇不可连动关闭。
3-5.4　排气系统内供平衡、调节或控制流量用之挡板必须为固定（死锁）型。
3-5.5　空调系统在火灾中必须有排烟功能，或有另一套排烟设备。
无尘室内之受污染可能性极微或回风不会影响邻近区域时，不在此限。
Class 1000洁净度以下者不在此限。废气排放系统有排烟能力者，不在此限。
3-5.6 无尘室回风系统应有手动遥控开关以便在紧急状况时将可能受影响之区域回风系统关闭。
化学品之运送、使用与储存
5-1　危险性化学品
5-1.1　危险性化学品之运送，使用与储存应遵照下列NFPA准则:
5-1.1.1　危险性化学品储与配送处所与洁净室之间应以１小时以上防火构造物隔离。
5-1.1.2　危险性化学品储存与配送处所内应设排水系统并仅排向一特定之安全地点。或另设一可容纳化学品意外泄漏及20分钟消防水量之构造物。
5-1.1.3　洁净室内之危险性化学品存量应以24小时之使用量为限。
5-1.1.4　危险性化学品储存配送处所应有下列动力换气排气设施：
(a)动力换气排气设备每平方英呎楼地板面积至少应有1cfm之换气量。
(b)出风口及入风口之截面积及位置应足以避免化学品挥发蒸气之累积。
(c)配送处所之动力排气设备应连结具有自动转换功能之紧急电源。
5-1.1.5　化学品意外混合之预防
5-1.1.5.1　危险性化学品应储存于封闭式之储存柜内或工作站内。但储存配送处所内之化学品除外。
5-1.1.5.2　混合后会产生危险性反应之化学品不可于置于同一储存柜内。
5-1.1.5.3　储存柜材质应为厚度18gauge以上之铁板门应可自动关闭且附有门闩。
5-1.1.6　易燃性液体应以合格之容器储存。但容量在1gal(4L)以下，为洁净之因素使用玻璃或塑料容器者，不在此限。
5-1.1.7　化学品容器上应有合格之标示。
5-2　易燃性与可燃性液体输送系统。
5-2.1& && &&&
Class I及II之液体不可以重力槽之方式输送，易燃性与可燃性液体应有合格之配送系统。
5-2.2　使用加压系统时，系统中各项零组件必须能适应所输送之化学品。
5-2.3　加压系统应有下列安全装置：
(a)火灾时可自动减压之排气装置，该排气出口位置应在安全地带。
(b)手动排气装置,该排气口位置应在安全地带。
(c)供应点之手动开关阀。
(d)仅可使用惰性气体。
5-2.4　10gal(37.8L)之加压输送系统其惰性气体使用压力应在15psi(bar)以下。
5-2.5　易燃性及可燃性液体加压输送系统应经加压试验，必须以1.5倍之正常使用压力加压2小时后而无泄漏或压力损失始可启用。
5-2.6　易燃性及可燃性液体加压送系统之材质应为含铁之合金。
5-2.7　压送至生产设备之压力不可超过15psi(103kpa)。
5-2.8　散装式运送设备应有下列安全装置:
(a)流异常上升保护装置(excess flow protection)
(b)意外泄漏时之防溢设施。
(c)使用点与配送点之手动开关阀。
(d)液位计与自动紧闭阀。
(e)自动运送系统应有Preset meter
5-3　容器装化学品之运送
5-3.1　容器装化学品不可在逃生走廊内运送。
5-3.2　危险性化学品不可在逃生走廊内储存或配送。
5-3.3　化学品推车在设计上应能在化学品完全密封在内，并至少可容纳一5gal(19L)之容器内化学品完全外溢。推车最多可承载不超过55gal(208)之危险性化学品。
5-3.4　不兼容之化学品不可同时置于同一推车内。
5-4　废液排放
5-4.1　不兼容之物质应有各别独立之排放系统。
5-4.2　排放系统上应标示其所应排放之物质名称。
5-4.3　收集化学品所使用之容器必须与该化学品兼容。
5-4.4　易燃性液体之收集应以合格之容器为之。
5-4.5　收集易燃性液体时，承装之容器外应有另一防溢用之容器。
5-4.6　化学品容器应有合格标示。
5-4.7　不兼容之化学品运送时不可同时置于同一部推车上。
5-5　防止外溢
5-5.1　液态危险性化学品之防溢设施应设于空地或低洼地区。
5-5.2　防溢设施应包括第二容器与外溢侦测设施。
危险性气体之储存与配送
6-1.1　钢瓶上之标示及其内装物质资料:
供货商应提供下列资料:
(a)钢瓶内容物质成份说明。
(b)钢瓶编号，材质，及制造与测试之标准。
(c)钢瓶可调式针阀之制造日期、材质、及流量曲线。
(d)最近一次之流体静力测试日期与结果。
6-1.2　钢瓶内含有自燃性气体时，应装设有针阀之自动关闭阀。
6-2　与半导体生产设备间之运送
运送危险性高压或液化气体之人员应熟悉正确之运送程序并经过手提式灭火器之操作训练。
6-2.1　钢瓶自运送车辆卸下前，应先作泄漏检查。
6-2.2　对于气体运送中可能发生之意外事故应有紧急应变计划。
6-3　输送系统
6-3.1　输送高压或液化气体用之管件及接头，其材质应与管内气体兼容。并经80psi(552kpa)以上，或最大容许压力120﹪以上之耐压试验，达2小时而无压力降者。
6-3.2　输送高压或液化气体之管件及接头应为不燃物构造或以不燃性材质套管包覆。但使用两种以上之高腐蚀性气体时，可使用可燃性内管及可燃性套管包覆。
6-3.3　管件与接头连结应以焊接方式为之。但排气用储柜及室外储柜内之管线可使用合格之非焊接式接头。
6-3.4　输送系统之管线应通过 **M F1-190，Specification for Leak Testing Testing Toxic Gas Piping Sysytems 之测试。
6-3.5　管线之焊接，连结及安装应由通过训练领有执照之专业人员为之。
6-3.6　清除基板(Purge panel)(请参考6-4.3(j)之规定)
6-3.7　气体储柜或气体储柜外之清除基板上应标示气体之种类，所使用清除气体种类，及其供应之生产设备。
6-3.8　清除基板应使用与管内气体兼容之材料，并有过流保护、防泄漏、及紧急关闭阀。
6-3.9　清除基板应有防止逆流及防止清除用气体受并他气体污染之设施。
6-3.10　整流阀(check valve)不可连结钢瓶压力超出80psi(552kpa)之管线中。
6-3.11　清除基板中之管线应装设手动隔离阀(isolation valve)以供清除基板实施修理或保养工作时隔离之用。
6-3.12　不兼容之气体不可共享同一气体储柜。
6-3.13　清除基板应设有清除用气体钢瓶，仅有供兼容性气体使用之清除基板才可共享同一清除用气体钢瓶。
6-3.14　危险性气体钢瓶之清除基板不可使用散装式（Bulk gas system）之清除用气体运送系统。
6-4　硅烷与硅烷非毒性气体之储存与配送处所。
6-4.1　钢瓶应储存于建筑物外之专用储存处所。
6-4.1.1　不在掩体内之钢瓶应设有链接式围篱。钢瓶与邻近建筑物及围篱之间，至少应有9ft（2.7m）以上之安全距离。
6-4.1.2　储存区至少有三面为开放空间，钢瓶应以铁架固定6-4.1.1储存区设有遮雨棚时，其高度至少应为12ft（3.7m）。
6-4.2　气体应自开放式配送架供应。(a)配送架应设于建筑物外。室外气候条件差之地区，其配送架应增设合格之掩体。
(b)各钢瓶之间应以1/4in（6.3mm）厚之铁板区隔，铁板应自清除基板顶部延伸至钢瓶阀下方12in（305mm）处。
(c)每单位储存配送处所面积至少应有1cfm/ft2（0.00047m3/s per 0.09m2）机械或自然换气量。
(d)钢瓶应有合乎2-1.25及2-3.3规定之防护与侦测系统。
(e)每一气体基板附近应有供气手动遥控关闭装置。配送处应有可紧急关闭全部供气之装置，该装置之控制开关至少距离配送处15ft（4.6m）以上。
(f)室外配送区应与建筑物保持适当距离。配送区至少有三面为开放空间，钢瓶应以铁架固定。设有遮雨棚时，其高度至少应为12ft（3.7m）。
(g)气体排放口或清除基板排气管应不断灌入新鲜氮气。为了预防空气逆流入排气管，氮气应从第一个排气管连结点导入，往上流向排气口。
(h)无掩体之钢瓶应设链接式围篱。钢瓶与邻近建筑物及围篱之间，至少应9ft（2.7m）以上之距离。
(i)使用动力换气系统时，该系统应有可自动转换之紧急电源以供应全容量之运转。
(j)硅烷及硅烷混合气体应设有自动清除基板。
6-5　硅烷／毒性气体等混合气体之储存与配送区
6-5.1　储存区应位于建筑物外。
6-5.1.1　无掩体之钢瓶应设开放式链接围篱。钢瓶与建筑物及与围篱之间至少应有9ft（2.7m）以上安全距离。
6-5.1.2　储存区至少应有3为开放空间且钢瓶应以钟架固定。设有遮雨棚时，其高度至少应在12ft(3.7m)以上。
6-5.1.3　使用气体储柜时，每一钢瓶应独立使用单一储柜。
6-5.2& && &&&
硅烷／毒气混合气体应自单钢瓶气体储柜配送。
6-5.3　配送区应有下列安全设施。
配送区应在建筑物外，气候条件差之地区应增设合格之掩体。
（b）气体储柜内之硅烷／毒气混合气体钢瓶之钢瓶颈部与清除基板间应有至少200ft per
min（fpm）（0.762m/s）之机械换气量，该换气系统应有可自动转换之紧急电源，该电源应能供换气系统容量运作。
每一气体储柜外应有供气遥控手动关闭装置。
（d）排气口或清除基板排气管应不断灌入新鲜氮气。为了预防空气逆流入排气管，氮气应从第一个排气管连结点导入，往上流向排气口。
室外配送区应与建筑物保持适当距离，如图6-5及图6-6所示。配送区至少应有3面为开放空间，钢瓶应置于单钢瓶气体储柜内，若设有遮雨棚，其高度至少应为为12ft（3.7m）。
无掩体保护之钢瓶应设有开放式链接式围篱，钢瓶与建筑物及与围篱之间，至少应有12ft（3.7m）以上之安全距离。
6-6易燃性及有毒性气体
6-6.1　使用中之易燃性及有毒性气体应设于附有排气系统之储柜内。储柜内应设置气体浓度探测器及供气自动关闭装置。排气系统应与气体浓度探测器连动。
离子植入机之Lecture气体钢瓶不需置于气体储柜内，而应设于含探测器及自动紧闭阀的排气柜内。
6-6.2　阀、接头、输送站，或泵浦有气体泄漏之潜在危险者，应设置排气换气设备。并设毒气或易燃性气体探测器，且与地区警铃及供气自动关闭阀连动；警铃音响必须为连续鸣放式。
6-6.3　排换气、探测器及供气自动关闭系统应设紧急自动供电系统。
6-6.4& && &&&
焊接及其它可能成为引火源之动火行为，在有易燃性气体外泄之潜在危险存在之地点应尽量灭少工作范围。焊接及其它可能产生火花之工作应透过内部特别之书面核准始可动工；工作时应将空气中易燃气体浓度控制在燃烧下限20%以下，并设置防火监视员1名及换气设备，以降低爆炸之潜在危险。
6-6.5　在易燃性气体储存区 及有易燃性气体外泄潜在危险之区域25ft（7.6m）范围内，应有明颢之“禁烟”标示。
6-6.6　易燃体储存区配送区不可使用明火。所有电热设备应合乎 NFPA70, Nationel Electrical Code。曝露于热源之高压及液化气体，在储存及配送时，应有适当防护措施。
6-7　排气口
6-7.1　清防基板之排气口，在设计上应可预防不兼容气体之混合，及硅烷与空气之混合。排气口之氮气清除系统，应设监控设备，并在氮气流量下降至设定点时，发出地区警报。
6-7.2　硅烷排气口或个别清除基板排气管，应不断导入氮气。为了避免空气逆流入排气管，氮气流不可间断。氮气应从第一个排气管接头往上导入，直至排气口。
6-7.3　排气放出点应位于安全地区，或适当之废气处理系统内。
6-7.4　制程中所使用之危险气管输送管应为专用。
与危险性气体及危险性高压及液化气体储槽有关之操作人员，应经专业训练，并于每年至少参加一次危险气体安全管理之教育训练。
制造及其外围设备
7-1　制造及其外围设备之设计与安装应合乎本章7-2至7-8之规定。
7-2　连锁设计
7-2.1　生产设备运转系统应有可自动在异常状态下连锁变为停止运转之预备状态(Standby mode)之设计。
7-2.2　连锁装置应在动作时发出音响及灯号之地区警报。
7-2.3　连锁装置应有使用、保养及操作手册。
7-2.4　使用危险性化学物质之设备，应可接收自监控装置所传送之讯号。当监控装置警报动作时，应可自动切断该危险性化学物质之供应，禁止流入生产设备。
7-2.5　连锁装置应有手动重新激活开关，以便在排除异常状况后再恢复正常运转。
7-3　电气装置之设计
7-3.1　电气组件及配线及相关久外围设备应合乎NFPA70，Nationa Electrical Code,及NFPA79，Electrical Standard for Industrial Machinery 之规定。
7-3.1.1　制程及其相关外围设备应符合NFPA70，National Electrical Code,
Section 90-7，设备安全测试标准。
7-3.1.2　所有电气组件及配线应列表管理。
7-3.2　使用易燃性液体或气体之工作站在1.5m（5ft）范围内之电气设备及其组件应符合NFPA70，National Electrical code, Class I, Division 2 locations 之规定，但工作站之换气足以持续性维持该工作环境无易燃气体者，不在此限。
7-3.3& && &&&
使用易燃性化学品之工作站，在无充份之排气换气之前，不可连接电源或其它动力。
7-4& && && &
制程液体加热设备
制程设备之材质为可燃性者，或为使用可燃性或液燃性液体者，不可使用浸入型电热器或加热盘。但可以使用独立式热水间接加热，或在湿式工作站外之电热器，或bonded heater。
7-4.1　使用独立式热水间接加热器时，应包含
（a)漏电断路器
（b)过电流保护器
（c)总断路器
（d)手动重新激活开关
（e)温度控制器
（f)溢流槽液位感知器
（g)溢流槽过热保护装置
7-4.2　电热槽应有下列停机及警报连锁装置:
（a)漏电断路器
（b)过电流保护器
（c)总断路器
（d)手动重新激活开关
（e)控温装置
（f)溢流槽液位感知器
（g)溢流槽过热保护装置
7-4.3　可燃性或易燃性液体加热槽应有高温限制开关。
7-4.4　液位感知器室少应每月测试及保养1次。
7-5　设备应为不燃性材质。但与腐蚀性物质接触之部份。不在此限。
7-6　抽气泵
7-6.1　使用可燃性油料之抽气泵，应在排气至废气排放管前，设有去除油渍之装置。
7-6.2　废气调节
7-6.2.1　超出易燃性气体最低燃烧限度(LFL)20%以上之排气泵，在导气至废气管前，应先将气流送入易燃性气体处理设备。
7-6.2.2　抽送易燃性化学品，或高浓度氧气之抽气泵不可使用可燃性油料。
7-6.2.3　抽送易燃性或自燃性气体之抽气泵应，设有氮气清除装置及制程设备连锁关闭装置。
7-7　危险性气体输送系统
7-7.1　制程设备内之危险性气体管线、控制器、及阀门应置于不燃性材质之储柜内，该储柜至少应有100atm per ft2(0.047m3/s per 0.09m2)之排气量。
7-7.2　流量控制器旁通阀，应有硅烷流量异常预防装置，并有预防旁通阀被误设于开启状态之装置。
7-8　使用可燃性或易燃性化学品之制程设备：
所有使用可燃性或易燃性化学品之制程设备，应设有排气系统，并可将易燃性气体及蒸气之浓度，控制在LFL之20%以下。
附录：说明事项
A-2-1.2.1　无尘室内之夹层及隐敝空间在消防设备之配置上不可疏漏，如空气混合箱、猫走道、气罩、露出形照明，开放式夹层板、设备、管线、管道、及缆线槽等在撒水头之装设上应全部纳入撒水区域内。亦应留意撒水头之集热情形。
气态灭火系统（如CO2）不可作为自动撒水设备之代替品，因为无尘室内之高换气率会稀释或层化气态灭火剂。
撒水设备应经合格专业机构至每半年检查一次。
为检查保养而必须关闭撒水系统时，应事先经过有关单位之书面核准，并告知被关闭之撒水区内之所有人员，关闭期间须派遣火灾监视员警戒，检查保养工作完成后应尽快恢复撒水设备之正常运作。
己动作过之撒水头应检查其零组件有无损坏，并加以修复。
有锈蚀现象之撒水头应更换，并避免再被使用。
A-2-1.22　有下行气流存在之场所宜装设玻璃式快速动作撒水头。
A-2.1.2.3　撒水头宜使用动作温度为135℉(57℃)，撒水头孔为3/8in（9.5mm）。钢瓶气体储柜内应装设一只撒水头。
A-2.1.2.6.3　因应撒水头撒水之排水装置应避免其水流溢至制程设备或管道致水的累积重量压塌该设备或管道。撒水时有吸附危险性物质之虞者，该排水管流出之水应符合地方环保标准。
A-2-1.2.7　设撒水头之穿墙孔应有排水设备。
A-2-2.2　洁净室使用H2时，应『Part
Million』探测H2泄漏之探测器。
A-2-3.1　探测器动作时，应连动关闭循环风扇或激活专用之控烟系统。
A-2.3.2　侦烟探测器不需与逃生警报连动。
A-3-3.1　制程设备与废气排放系统间连结之Ribbed flex duct，因为有乱流，所以危险性粒子易在死角累积。该Ribbed flex duct有快速燃烧之特性，易助长延烧并有崩塌之危险。
管道之设计，应尽可能降低危险物质在管道内累积。
A-3-3.6　若仅考虑防火功能，管道材质应依下列优先级选择之：
(b)金属包覆或非金属材经核定不须配置撒水设备，防火挡板者。
(c)可燃材但内部装设自动撒水设备者。
A-3-5.2　除少数特殊设备外，紧急电源通常不连结制程设备。当制程设备断电时，危险性废气之排放即停止或降低。
A-5-3.1　化学品之处理可设于专用走廊内。
A-5-3.3　有破裂之潜在危险之化学品容器应予以隔离以防止破裂。
A-5.4.2　内容物标示应符合ANSI
B31.3，Chemical
Piping之规定。
A-6-1.2　系统内装有过流保护装置及限流孔时，过流保护装置勿关闭，断电，或停止运作。
A-6-2.2　本标准应由消防队，紧急应变小组，及气体供货商联合遵循。各相关人员应针对可能状况定期实施演练。
A-6-3.2　输送管为不燃材质时，管外可以采用可燃性套管。
A-6-3.6.1　自动清除基板比手动清除基板安全，因为比较不会产生人为疏失。
A-6-3.8　清除基板之零组件应符合下列要求：
(a)应使用隔板调节器。
(b)所有管路连结处应焊接或以金属垫圈紧密连结不留空隙。但阀与钢瓶之连接处除外。
(c)泄压爆裂组件应设定在最高使用压力之50％以上。
(d)所有零组件之氦气泄漏率不应大于0.0001cc/hr。
(e)调节器应为hand-loaded型。危险气骿不可使dome loaded 型。遥控操纵之气体输系统应使用dome loaded 型调节器。
(f)不可使用止回阀去防堵气体交互扩散之潜在危险。
(g)清除基板上应使用本质安全之电气零件。
(h)过流保护阀(关应于清除基板之高压力侧。
(i)紧急高压紧闭阀应由紧急关闭按钮，气体监测紧报系统，及电子监测过流控制开关等设备连动激活。
(j)所有制程设备应装设紧急关闭装置。
A-6-5　研发单位应积极寻找硅烷/毒气混合气体之代替品。
A-6-5.3　(b)废气排放流量应为储柜之横截面积乘以200fpm。
A-6-6.1　所有危险性气体应考虑使用较安全之替代品。
A-6-8　内部工安训练应以国际认可之标准方法为之。
A-7-1　制程设备之设计，在火灾发生时，应有侦测火灾及抑制火灾之功能以防止爆炸及火灾之蔓延。
该防火系统之设计应经第三者之检查。系统零件应尽可能全部列表备查。
审查设计图时，应注意下列项目a)建筑结构之材质(易燃性、可燃性及兼容性);(b)电气零组件及其连结点及保护箱。;(c)电路保护系统;(d)进入设备零件之信道;(e)自燃性化学品之防堵与控制设备;(f)制程管线，连结部及其材质;(g)预防危险气流过大之方法;(h)防震性能;(j)连锁控制装置。
制程设备上应贴有铭牌，铭牌上记载制造商之名称、地址、型号、及制造编号。
制造商对设备可能导致之火灾危险应告知使用者。相对地，使用者亦应将有关安全信息回馈给制造商。制造商应有研发、调查及改进设备安全条件之计划。
制程设备之潜在危险及其控制方式应载明于操作手册中，及机台告示牌上。制程设备之危险辨识文件应，
经由训练有素之员工或操作者阅读并签认。操作保养手册应明订操作、保养、及故障排除之步骤。工厂应
设立责任制度以促使负责人员确认各项制程设备合乎安全要求。设备之图面与书面规格，应依照Chapeer 7
所订规范，经训练有素之员工或第三人阅读并签认。工厂应在验收时封设备实施检测以确认该设备合乎设
计上之要求。工厂应确认该设备附有完整之安装、保养、及操作说明，并且有详细线路图及零组件图。
设备操作员应先经过安全训练，并通过考试。设备应有适当之保养计划，其检查保养应有书面记录，并由
专业内员定期为之。最近之检查日期与保养负责人姓名应标示于设备上。生产设备及其外围附属设备应符
合SEMI S2 Procluct Safety Guidelines，之标准，其设计与安装应符合Sections 7-2~7-8之规定。
A-7-2.1　设备应巾连锁停机开关用以防止连续操作时间过度延长。
A-7-4.3　使用化学品为可燃性或易燃性，并加热至其闪火点以上者，应设置火警探测设备。
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